【摘要】 本发明公开了一种制备薄膜电极的辅助装置，包括底盘，底盘具有用于支撑上下叠加设置的掩膜板和衬底的支撑端面，底盘上还设置有用于对掩膜板施加朝向衬底压紧的压紧力的压紧机构，所述压紧机构包括用于压装在掩膜板上的压片夹以及向下穿过压片夹后螺纹旋入底盘内的将压片夹与底盘固连的控位螺钉，所述底盘具有供所述控位螺钉旋入的控位螺孔，所述压片夹具有供所述控位螺钉穿过的导向孔。通过旋拧控位螺钉就能使压片夹压紧掩膜板，进而控制掩膜板与衬底的压紧程度，使掩膜板与衬底充分紧密接触，从而避免了薄膜电极在制备过程中电极点粘接和薄膜电极厚度不均现象的发生，为制备出高质量的薄膜电极提供了有力的保证。 【专利类型】发明授权 【申请人】河南大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】475004 河南省开封市明伦街85号 【申请人地区】中国 【申请人城市】开封市 【申请人区县】鼓楼区 【申请号】CN201210155586.X 【申请日】2012-05-18 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102703856B 【公开公告日】2014-04-30 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102703856B 【授权公告日】2014-04-30 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】C23C14/04; C23C16/04 【发明人】张伟风; 张婷; 马文海; 孙健; 魏凌; 贾彩虹 【主权项内容】一种制备薄膜电极的辅助装置，其特征在于：包括底盘，底盘具有用于支撑上下叠加设置的掩膜板和衬底的支撑端面，底盘上还设置有用于对掩膜板施加朝向衬底压紧的压紧力的压紧机构，所述压紧机构包括用于压装在掩膜板上的压片夹以及向下穿过压片夹后螺纹旋入底盘内的将压片夹与底盘固连的控位螺钉，所述底盘具有供所述控位螺钉旋入的控位螺孔，所述压片夹具有供所述控位螺钉穿过的导向孔，通过旋拧控位螺钉，可以调节压片夹对掩膜板的压紧力，最终可以调节掩膜板与衬底的压紧程度；所述压片夹为对称布置在支撑端面中心两侧的至少一对，所述控位螺钉为与所述压片夹一一对应设置的至少两个；所述每个控位螺钉对应的控位螺孔均为沿以支撑端面中心为圆心所在圆周的径向方向间隔布置的至少两个，每个控位螺钉对应的各控位螺孔为一组，所述导向孔为沿每组控位螺孔布置方向延伸的长孔。 【当前权利人】河南大学 【当前专利权人地址】河南省开封市明伦街85号 【统一社会信用代码】12410000416306716T 【引证次数】5.0 【他引次数】5.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】4

未经允许不得转载：http://www.zhongzhencnc.com/1791102156.html