【摘要】本发明提供一种硅片的抛光方法。所述抛光方法包括以下步骤:S1,将硅片置于一等离子体发生装置中的基片架上;其中所述基片架周围设有用以提供一垂直于所述基片架表面的约束磁场的磁线圈或磁钢;S2,向所述等离子体发生装置中通入反应气体;S3,
【摘要】 本发明是一种新型小巧退布机,包括主支架,在主支架上方两端分别通过左右对应的轴承座固定有前滚柱和后滚柱,在前滚柱和后滚柱一端分别通过螺钉固定连接有前齿轮和后齿轮,在主支架上还设置有减速机,减速机的一端设置有减速机齿轮,减速机通过皮带与一电机连接,在主支架上还设置有与电机电连接的控制开关,在主支架上、前齿轮和后齿轮的外侧设置有副支架,副支架的上端设置有遮挡块。本发明的退布机的两个滚柱和减速机齿轮经过链条通过电机带动转动,在齿轮的外侧设置有遮挡板,避免润滑油飞溅到布匹上,降低布匹质量,控制开关上有到倒转开关和顺转开关,通过电机上的耦合电容和实现倒转和顺转。本发明结构小巧,操作方便。 【专利类型】发明申请 【申请人】江苏爱伦家纺有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】212361 江苏省镇江市丹阳市导墅工业园 【申请人地区】中国 【申请人城市】镇江市 【申请人区县】丹阳市 【申请号】CN201210419783.8 【申请日】2012-10-29 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103787105A 【公开公告日】2014-05-14 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】B65H16/08; B65H16/10 【发明人】耿小金 【主权项内容】一种新型小巧退布机,包括主支架(1),其特征在于:在所述主支架(1)上方两端分别通过左右对应的轴承座(2)固定有前滚柱(3)和后滚柱(7),在所述前滚柱(3)和后滚柱(7)一端分别通过螺钉固定连接有前齿轮(4)和后齿轮(8),在所述主支架(1)上还设置有减速机(5),所述减速机(5)的一端设置有减速机齿轮(6),所述减速机(5)通过皮带与一电机(10)连接,在所述主支架(1)上还设置有与所述电机(10)电连接的控制开关(11)。 【当前权利人】江苏爱伦家纺有限公司 【当前专利权人地址】江苏省镇江市丹阳市导墅工业园 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】913211817448184385 【引证次数】6.0 【自引次数】1.0 【他引次数】5.0 【家族引证次数】6.0
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