【摘要】 本发明公开了一种研磨盘平面度修正装置，包括伺服电机、丝杠丝母螺旋副机构、方形导轨、矩形导轨和平面度修正机构，所述的丝杠丝母螺旋副机构安装在方形导轨内，方形导轨设置在矩形导轨内，矩形导轨通过底板与被修复研磨盘主机相连。本发明技术方案，通过采用伺服拖动控制车刀进刀，可实现盘面螺旋线螺距的精密加工；螺旋测微头高分辨率设定进刀深度，可实现盘面螺旋槽深度的精却控制，同时通过千分表与调整螺栓的调节，可实现盘面平面度凸心(或凹心)的准确控制，该装置可在线实现研磨抛光设备自身盘面平面度的修研，同时可满足超硬材料对盘面的特殊修研要求。 【专利类型】发明申请 【申请人】苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215000 江苏省苏州市高新区昆仑山路68号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】虎丘区 【申请号】CN201210350132.8 【申请日】2012-09-20 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103659604A 【公开公告日】2014-03-26 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103659604B 【授权公告日】2016-04-20 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】B24B53/017 【发明人】任明元; 张景 【主权项内容】一种研磨盘平面度修正装置，包括伺服电机(14)、丝杠丝母螺旋副机构、方形导轨(19)、矩形导轨(24)和平面度修正机构，所述丝杠丝母螺旋副机构安装在所述方形导轨(19)内，所述方形导轨(19)设置在所述矩形导轨(24)内，所述矩形导轨(24)通过底板(40)与被修复研磨盘主机相连，所述平面度修正机构的车刀(33)通过刀架(30)安装在刀架导轨(29)上，所述刀架导轨(29)通过固定板(28)固定安装在所述方形导轨(19)端部，螺旋测微头(44)通过定位环(32)安装在支板(31)上，所述支板(31)固定安装在所述固定板(28)上，所述支板(31)与所述刀架(30)之间设置有拉簧(42)。 ： 【当前权利人】苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市高新区昆仑山路68号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】9132050555707201X0 【引证次数】7.0 【被引证次数】7 【自引次数】1.0 【他引次数】6.0 【被他引次数】7.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】7

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