【摘要】 本发明公开一种硅片在线自动检测装置，用于检测随传输线同步依次传送的若干硅片是否为碎片并将碎片从所述的传输线上分拣出来，包括设置在所述的传输线的上方的检测单元、与所述的检测单元信号连接的控制单元及与所述的控制单元信号连接的分拣单元，检测单元中采用光纤传感器，控制单元根据检测单元的检测信号控制分拣单元将碎片分拣出来。利用光纤传感器检测出硅片中的碎片，并通过控制分拣单元将碎片分拣出来，这样的方法可以将在线传送的硅片中的绝大多数的碎片分拣出来，结构简单、成本低，效果显著，为后面的精检打好基础，以达到高效、快捷地分拣碎片。 【专利类型】发明授权 【申请人】张家港市超声电气有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215618 江苏省苏州市张家港市金港大道1001号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】张家港市 【申请号】CN201210399014.6 【申请日】2012-10-19 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102873035B 【公开公告日】2014-08-20 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102873035B 【授权公告日】2014-08-20 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】B07C5/342; B07C5/36; G01N21/86 【发明人】陈宏 【主权项内容】一种硅片在线自动检测装置，用于检测随传输线同步依次传送的若干硅片是否为碎片并将碎片从所述的传输线上分拣出来，其特征在于：包括设置在所述的传输线的上方的检测单元、与所述的检测单元信号连接的控制单元及与所述的控制单元信号连接的分拣单元；所述的检测单元包括用于检测所述的传输线上当前是否有硅片的第一检测件、用于检测对应的当前硅片是碎片或完整片的第二检测件；所述的分拣单元包括从所述的传输线延伸设置的分拣传输轨、下料机构、碎片收集机构，所述的分拣传输轨具有第一位置和第二位置，当所述的分拣传输轨位于第一位置时，所述的分拣传输轨对接在所述的传输线与所述的下料机构之间；当所述的分拣传输轨位于第二位置时，所述的分拣传输轨对接在所述的传输线与所述的碎片收集机构之间；所述的控制单元接收所述的第一检测件及所述的第二检测件的检测信号并根据这些信号控制所述的分拣传输轨在第一位置及第二位置之间进行切换：当所述的第一检测件检测到有硅片时，所述的控制单元控制所述的分拣传输轨位于第一位置；当所述的第二检测件检测到当前硅片为完整片时，所述的控制机构控制所述的分拣传输轨维持在第一位置；当所述的第二检测件检测到当前硅片为碎片时，所述的控制机构控制所述的分拣传输轨位于第二位置；所述的第一检测件为一个第一光纤传感器，所述的第二检测件为多个第二光纤传感器，这些所述的第二检测件在所述的传输线所在的水平面内的投影落在与所述的硅片的形状、大小相同的图形内部；所述的分拣传输轨的远离所述的传输轨的一端为可升降端，所述的碎片收集机构位于所述的下料机构的下方，当所述的分拣传输轨位于第一位置时，所述的传输轨、所述的分拣传输轨及所述的下料机构位于同于水平面内；当所述的分拣传输轨位于第二位置时，所述的分拣传输轨的可升降端下降且伸至所述的碎片收集机构处；所述的硅片呈矩形，所述的第二检测件包括四个第二光纤传感器，这四个第二光纤传感器在所述的传输线所在的水平面内的投影大致落在与所述的硅片的大小相同的矩形的四个顶角。 【当前权利人】张家港市超声电气有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市张家港市金港大道1001号 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91320582628403278P 【引证次数】6.0 【他引次数】6.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】15

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