【摘要】本发明涉及一种高纯双氧水的连续制备方法，该方法以不含稳定剂的工业级双氧水为原料，包括依次且连续进行的下列步骤：(1)调节双氧水浓度，并控制双氧水的温度在0~15℃之间；(2)使双氧水依次以300~450LH的流速通过大孔吸附树脂吸附
【摘要】 本发明提供了一种等离子物理和化学共沉积装置及沉积方法。该装置为一个密闭的沉积室，沉积室有一至三个进气口和一个出气口，一个阳极和两个阴极组成。沉积室内壁材质为不锈钢，沉积真空室内的结构件为金属和/或石墨材料；沉积室极限真空10-3Pa以下，沉积室内的工作气压0.01Pa-50Pa；进气口气体为氩气、硅烷、金属醇盐等反应气体；装置中阳极接通于沉积室，两个阴极分别接通于靶材和工件材料，其中工件电压范围为0V～-1200V，靶材电压范围为0V～-1200V；装置中工件表面温度为800℃-1200℃，且该温度是工件材料附近局部区域的温度。 【专利类型】发明申请 【申请人】苏州宏久航空防热材料科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215400 江苏省苏州市太仓市城厢镇人民南路 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】太仓市 【申请号】CN201210288721.8 【申请日】2012-08-15 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103590004A 【公开公告日】2014-02-19 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】C23C14/22; C23C16/44 【发明人】陈照峰; 吴王平 【主权项内容】 一种等离子物理和化学共沉积装置，包括一个密闭的沉积室，进气控制系统、排气系统、抽真空控制系统和尾气处理系统，其特征在于沉积室有两个进气口和一个出气口，一个阳极、一个放置工件的阴极和一个放置靶材的阴极。 【当前权利人】苏州宏久航空防热材料科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市太仓市城厢镇人民南路 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320585585561523G 【引证次数】10.0 【被引证次数】3 【自引次数】1.0 【他引次数】9.0 【被他引次数】3.0 【家族引证次数】10.0 【家族被引证次数】3
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