【摘要】 本发明公开了一种运行稳定的变节距夹具，包括由顶板、底板以及两侧板围成的框架、位于框架内的沿两侧板内表面能够上下滑动的多层硅片搁置板，所述多层硅片搁置板之间具有间隙，每层间隙两端均设有间距垫片；所述间距垫片首端为薄部，尾端为厚部，中间为渐变斜面，所述薄部插入所述间隙中，所有间距垫片总长度相等，渐变斜面的长度也相等并且最底层的间距垫片到最顶层的间距垫片按如下规律变化：薄部的长度逐渐变长，厚部的长度逐渐缩短；另外还包括有驱动所有间距垫片使得厚部同时进入或退出所述间隙的驱动机构。本发明的运行稳定的变节距夹具可以快速变换硅片之间的间距，从而能够实现快速、平稳、方便地在两种不同节距载具间进行倒片。 【专利类型】发明授权 【申请人】苏州罗博特科自动化设备有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215000 江苏省苏州市苏州工业园区唯亭镇春辉路5号跨春工业坊6号厂房 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】吴中区 【申请号】CN201210381370.5 【申请日】2012-10-11 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102856244B 【公开公告日】2014-11-26 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102856244B 【授权公告日】2014-11-26 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】H01L21/687; H01L31/18 【发明人】朱绍明; 戴军 【主权项内容】一种运行稳定的变节距夹具，其特征在于：包括由顶板、底板以及两侧板围成的框架、位于框架内的沿两侧板内表面能够上下滑动的多层硅片搁置板，所述多层硅片搁置板之间具有间隙，每层间隙两端均设有间距垫片；所述间距垫片首端为薄部，尾端为厚部，中间为渐变斜面，所述薄部插入所述间隙中，所有间距垫片总长度相等，渐变斜面的长度也相等并且最底层的间距垫片到最顶层的间距垫片按如下规律变化：薄部的长度逐渐变长，厚部的长度逐渐缩短；另外还包括有驱动所有间距垫片进入或退出所述间隙的驱动机构。 【当前权利人】罗博特科智能科技股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320594573751223F 【引证次数】1.0 【自引次数】1.0 【家族引证次数】1.0 【家族被引证次数】3

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