【摘要】本发明公开了一种氧化物刻蚀方法及设备，所述方法包括以下步骤：S1、测量刻蚀设备腔体中电子载台上掩避环的缺失厚度，判断缺失厚度是否小于系统设置阈值，若是，执行步骤S2，若否，更换新的电子载台后执行步骤S2；S2、将晶圆放置于刻蚀设备腔

【摘要】本发明提供一种能在线调节的电磁阀驱动装置，包括MCU，还包括第一DA转换电路、第二DA转换电路、第三DA转换电路、第一放大电路、第一比较器、第二比较器、第三比较器、CPLD逻辑控制电路、升压控制器使能电路、升压控制器、升压电路、高压

【摘要】本发明涉及一种硅膜腐蚀厚度的控制方法。该方法包括下述步骤：测试模块的形成步骤，在硅片正面作为测试模块形成具有规定深度的回形凹槽；腐蚀处理步骤，用腐蚀液对硅片从背面开始进行腐蚀；以及停止腐蚀步骤，当所述测试模块从所述硅片脱落时停止腐蚀

【摘要】本发明公开了一种带有横杆的桌子，包括支撑座和第一搁置面，其中，所述支撑座包括通过纵横相交并连接固定的形成位于上端的支撑面以及位于支撑面下端的支撑脚；所述第一搁置面固定在所述支撑座上，其特征在于，所述带有支撑座的桌子还包括：第二搁置面

【摘要】本发明公开了一种氨糖水解抽滤槽，包括筒体，在所述筒体的内侧中间偏下的位置水平设置有过滤网板，所述过滤网板上均匀设置有许多小孔，在所述过滤网板上方还设置有滤布，所述过滤网板下方设置有支撑板，所述支撑板下方连接出料管道，所述出料管道另一

【摘要】一种油冷却器用于冷却汽车变速箱的机油，它包括若干个叠加一起的对油体进行换热的换热组件(9)，该油冷却器整体密封，其特征是，所述的换热组件由上壳(2)、下壳(3)构成，所述的上壳与下壳连接形成一扁平长方体壳体，上壳和下壳上的两端分别垂