【摘要】本发明公开一种硅的刻蚀方法,用以在硅衬底上刻蚀不同宽度尺寸的硅槽,包括:S1、提供硅衬底;S2、在硅衬底上沉积掩膜层;S3、对掩膜层进行腐蚀,形成不同宽度尺寸的窗口,其中至少在非最小宽度尺寸窗口的底部,预留一定厚度的掩膜层,以满足S
【摘要】 本发明开发了一种天然气固溶炉,包括加热炉和冷却室,加热炉和冷却室的两端都分别设有炉口及炉门,加热炉的一端设有进料架,并且另一端通过传送轨道与冷却室相连,冷却室的另一端连接有出料架,加热炉的顶部设有天然气管道、送风机及送风管道,加热炉的两个侧面分别设有均匀分布的火焰喷射孔,火焰喷射孔对应的炉壁外侧设有观火孔,另外,加热炉的顶部设有废气回收装置。本发明的优点是:加热炉的顶部设有废气回收装置,能及时将加热过程中产生的废气排出,做进一步净化处理,保护了工作环境免受污染,加热炉的火焰喷射孔外部设有观火孔,可以更方便地观察火焰燃烧情况,便于控制加热的进行。。 【专利类型】发明申请 【申请人】江苏鑫顺不锈钢制品有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】225700 江苏省泰州市兴化市张郭镇科技园区 【申请人地区】中国 【申请人城市】泰州市 【申请人区县】兴化市 【申请号】CN201210507394.0 【申请日】2012-12-03 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103849714A 【公开公告日】2014-06-11 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】C21D1/00 【发明人】尤善斌 【主权项内容】一种天然气固溶炉,包括加热炉和冷却室,其特征在于,所述加热炉和所述冷却室的两端都分别设有炉口及炉门,所述加热炉的一端设有进料架,并且另一端通过传送轨道与所述冷却室相连,所述冷却室的另一端连接有出料架,所述加热炉的顶部设有天然气管道、送风机及送风管道,所述加热炉的两个侧面分别设有均匀分布的火焰喷射孔,所述火焰喷射孔对应的炉壁外侧设有观火孔。 【当前权利人】江苏鑫顺不锈钢制品有限公司 【当前专利权人地址】江苏省泰州市兴化市张郭镇科技园区 【专利权人类型】有限责任公司(自然人独资) 【统一社会信用代码】91321281792341048A 【被引证次数】4 【被他引次数】4.0 【家族被引证次数】4
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