【摘要】 。本发明公开一种光刻对焦参数测试方法,包括:将测试晶圆表面划分为多个测试区域;为每个测试区域i分配预测试的对焦参数Fpi;根据所述测试区域i的高度Hi将所述预测试的对焦参数Fpi进行修正得到实际用于测试的对焦参数Fi;根据所述实际
【摘要】 本发明公开了一种电积槽,包括极板(1)和电解池(2),极板包括阴极板(3)、阳极板(4),阴极板(3)利用钛板做种板,电解池(2)设置有贫液出口(5),电积槽还包括酸雾处理池(6),电解池上设置有气体收集装置(7)。本发明的电积槽能有效的消除酸雾,保证车间生产空气环境不被污染。 【专利类型】发明申请 【申请人】泰州华平不锈钢制品有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】225715 江苏省泰州市兴化市沈伦镇工业集中区沈北路 【申请人地区】中国 【申请人城市】泰州市 【申请人区县】兴化市 【申请号】CN201210515045.3 【申请日】2012-12-05 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103849901A 【公开公告日】2014-06-11 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】C25C7/00; C25C7/06 【发明人】顾华 【主权项内容】一种电积槽,包括极板(1)和电解池(2),极板包括阴极板(3)、阳极板(4),阴极板(3)通过钛板做种板,电解池(2)设置有贫液出口(5),其特征在于:所述贫液出口(5)一端设有酸雾处理池(6),所述电解池(2)上设置有气体收集装置(7)。 【当前权利人】泰州华平不锈钢制品有限公司 【当前专利权人地址】江苏省泰州市兴化市沈伦镇工业集中区沈北路 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91321281582342667R
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