【摘要】 本发明属于集成电路制造技术领域，是一种圆片背面金属化工艺用的夹具，具体地说是一种蒸发台用的圆片放置夹具，包括内沿设置台阶的环状本体，所述台阶上转动设置若干个环形手臂，特征在于：所述环形手臂包括上臂，上臂上设置有滑槽，紧定螺栓将下臂固定连接于滑槽下端，所述下臂端部设置圆片台阶。本发明蒸发台用的圆片放置夹具在不改变现有设备构造、不增加设备负担的前提下，为多种尺寸的硅片同时进行背面金属化工艺，提供了较好的解决办法，在减少运行成本及贵重靶材消耗的同时，工艺可靠性也能得到保证，可操作性强，本发明结构简单、巧妙、合理，可以有效装载不同尺寸规格的圆片。 【专利类型】发明授权 【申请人】无锡中微高科电子有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】江苏省无锡市滨湖区惠河路5号208信箱 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210584442.6 【申请日】2012-12-28 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103014650B 【公开公告日】2014-12-03 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103014650B 【授权公告日】2014-12-03 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】C23C14/50 【发明人】李云海; 张顺亮; 黄强 【主权项内容】一种蒸发台用的圆片放置夹具，包括内沿设置台阶(2)的环状本体(1)，所述台阶(2)上转动设置若干个环形手臂(3)，其特征在于：还包括圆片保护盖(11)，所述环形手臂(3)包括上臂(4)，上臂(4)上设置有滑槽(7)，紧定螺栓(8)将下臂(5)固定连接于滑槽(7)下端，所述下臂(5)端部设置圆片台阶(9)；所述环状本体(1)的台阶(2)上沿圆周方向均布定位孔(13)，定位栓(6)将环形手臂(3)的上臂(4)固定于台阶(2)的定位孔(13)中，所述定位栓(6)下端部通过定位栓销子(10)卡紧；所述下臂(5)上设置有螺纹孔(14)，紧定螺栓(8)下端旋紧在螺纹孔(14)中；所述环形手臂(3)的弧度与环状本体(1)的弧度相同。 【当前权利人】无锡中微高科电子有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市滨湖区惠河路5号208信箱 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320214791955718F 【引证次数】2.0 【他引次数】2.0 【家族引证次数】2.0 【家族被引证次数】1

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