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DMOS半导体器件的制造方法专利

时间:2026-09-25    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明提出了用于制造DMOS半导体器件的方法。其中,所述方法包括下列步骤:(A1)在半导体晶圆上形成RING环;(A2)在已形成所述RING环的所述半导体晶圆上形成多晶层;(A3)在已形成所述多晶层的所述半导体晶圆上形成源极;(A4)对已形成所述源极的所述半导体晶圆执行后续的操作以形成DMOS器件。本发明所公开的用于制造DMOS半导体器件的方法可以优化制造工艺,从而显著地降低成本。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡华润上华科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210246922.1 【申请日】2012-07-17 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103545214A 【公开公告日】2014-01-29 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103545214B 【授权公告日】2017-06-06 【授权公告年份】2017.0 【IPC分类号】H01L21/336 【发明人】王者伟; 陈雪磊; 高留春; 刘斌斌 【主权项内容】一种用于制造DMOS半导体器件的方法,所述用于制造DMOS半导体器件的方法包括下列步骤:(A1)在半导体晶圆上形成RING环;(A2)在已形成所述RING环的所述半导体晶圆上形成多晶层;(A3)在已形成所述多晶层的所述半导体晶圆上形成源极;(A4)对已形成所述源极的所述半导体晶圆执行后续的操作以形成DMOS器件。 【当前权利人】无锡华润上华科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【专利权人类型】有限责任公司(港澳台法人独资) 【统一社会信用代码】91320214739444443B 【引证次数】5.0 【他引次数】5.0 【家族引证次数】5.0

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