【摘要】 本发明涉及一种钴锌铁氧体薄膜的制备方法，属于磁电复合材料领域。本发明利用PMNT单晶为模板(ZL99113472.9)、以钴锌铁氧体为磁致伸缩材料，通过简单的溶胶-凝胶和旋转涂膜法工艺，制备层叠磁电复合材料。本发明的优点在于：1)能够稳定提供不同切型、高质量的PMNT单晶模板，实现对磁电复合材料的性能调控；2)工艺流程简单、成本低廉，能够制备1 : 1层叠和三明治结构的层叠磁电复合材料；3)钴锌铁氧体薄膜的厚度、晶型可控，并适用于其他铁氧体薄膜的制备。 【专利类型】发明授权 【申请人】常州大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】213164 江苏省常州市武进区滆湖路1号常州大学 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】武进区 【申请号】CN201210330562.3 【申请日】2012-09-10 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102863207B 【公开公告日】2014-06-18 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102863207B 【授权公告日】2014-06-18 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】C04B35/26; C04B35/622 【发明人】方必军; 贾楠; 丁建宁; 罗豪甦 【主权项内容】该数据由<>整理 一种单晶模板制备铁氧体薄膜的方法，其特征在于包括如下步骤：(1)溶胶制备按照化学式Co1-xZnxFe2O4称取所需质量的九水合硝酸铁、六水合硝酸锌、六水合硝酸钴，其中x=0.1，将上述物质放入60-80℃去离子水中，恒温磁力搅拌得到盐溶液，去离子水的加入量以能完全溶解所需质量的九水合硝酸铁、六水合硝酸锌和六水合硝酸钴为准；九水合硝酸铁、六水合硝酸锌和六水合硝酸钴的质量之和与EDTA的质量比为2.1~2.3：1；称取柠檬酸和EDTA，柠檬酸与EDTA的质量比控制在4 : 1，放入到80℃去离子水中，去离子水的加入量以能完全溶解柠檬酸和EDTA为准；恒温磁力搅拌得到混合溶液1，将该混合溶液1缓慢滴加入上述盐溶液中得到混合溶液2，加入氨水控制溶液的pH值等于7；缓慢加入乙酰丙酮和乙二醇，油浴70-80℃恒温磁力搅拌90-110h，形成溶胶；(2)薄膜制备PMNT单晶模板分别在体积比1 : 1.5 : 5的硫酸：氢氟酸：去离子水组成的混合溶液、NaOH溶液、丙酮、无水乙醇、去离子水中超声清洗，每一步清洗之间用去离子水冲洗单晶基片；清洗后，放入真空干燥箱中烘干；以PMNT单晶晶片为模板，用旋转涂膜法制备钴锌铁氧体薄膜，湿凝胶膜在真空干燥箱中自然干燥，得到干凝胶膜，干凝胶膜放入马弗炉中，以1℃/min的速率升温至200℃，使其发生自蔓延反应，重复以上步骤，直至得到所需要的膜厚，将薄膜在500-700℃热处理1-4h，以控制薄膜的晶体结构。 【当前权利人】江阴智产汇知识产权运营有限公司 【统一社会信用代码】12320000466007300P 【引证次数】3.0 【他引次数】3.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】6

未经允许不得转载：http://www.zhongzhencnc.com/1789963056.html