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一种蓝宝石复合衬底和其制备方法及其应用专利

时间:2026-09-21    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明公开了一种蓝宝石复合衬底及其制备方法及其应用,本方法通过在磊晶前对传统的蓝宝石衬底进行改进处理,增加一层应力协变层,形成蓝宝石复合衬底,用于外延磊晶生长,以此提高LED外延芯片的质量。 【专利类型】发明申请 【申请人】江苏汉莱科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213000 江苏省常州市武进区凤林路55号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】武进区 【申请号】CN201210393371.1 【申请日】2012-10-17 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103779458A 【公开公告日】2014-05-07 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】H01L33/02; H01L33/00; C23C14/06; C30B25/18 【发明人】庄文荣; 孙明 【主权项内容】一种蓝宝石复合衬底,其特征在于包括蓝宝石衬底,及通过射频磁控溅射系统溅镀在蓝宝石之上的AlN应力协变层。 【当前权利人】江苏汉莱科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市武进区凤林路55号 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91320412550234987E 【引证次数】3.0 【被引证次数】4 【他引次数】3.0 【被他引次数】4.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】4

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