【摘要】本发明涉及一种钻铣装置及钻铣方法的技术领域，尤其是一种平衡块钻铣复合夹具及其钻铣方法。其钻铣复合夹具包括上体、下体、开口垫圈、螺母、定位轴、定位销、定位孔和等分槽，上体和下体连接，上体一侧中央设有开口垫圈和螺母，下体一侧中央设有定位
【摘要】 本发明属于半导体材料技术领域，具体涉及一种铁电薄膜太阳能电池的制备方法，尤其是指一种基于梯度BiFeO3薄膜的太阳能电池。本发明提出多层BiFeO3薄膜的光学带隙梯度设计及梯度BiFeO3薄膜太阳能电池的制备，通过BiFeO3薄膜的梯度设计增加对太阳光的吸收，从而提高BiFeO3薄膜太阳能电池的光电转换效率。 【专利类型】发明授权 【申请人】常州大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】213164 江苏省常州市武进区滆湖路1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】武进区 【申请号】CN201210163042.8 【申请日】2012-05-24 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102651428B 【公开公告日】2014-10-29 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102651428B 【授权公告日】2014-10-29 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】H01L31/18; H01L31/032; C23C14/35; C23C14/08 【发明人】邱建华; 丁建宁; 袁宁一; 陈智慧; 王秀琴 【主权项内容】1.一种梯度铁电薄膜太阳能电池的制备方法，其特征在于包括如下步骤：第一步：基底清洗；第二步：制备下电极；第三步：利用磁控溅射方法制备-光学带隙梯度变化的BiFeO3薄膜；第四步：制备上电极；第五步：测试梯度BiFeO3薄膜太阳能电池的光学和电学性质；通过BiFeO3薄膜的梯度设计增加对太阳光的吸收，从而提高BiFeO3薄膜太阳能电池的光电转换效率；所述方法第三步，采用磁控溅射方法制备梯度BiFeO3薄膜；靶材选择Bi1.1FeO3陶瓷靶；工艺条件为：溅射功率为70-90W，沉积温度为650-750 ℃，Ar：O2的流量比1 : 15-11 : 1，腔体压力为0.01-1 Pa，薄膜的厚度为15-300 nm；所述梯度BiFeO3薄膜由三层构成，通过逐步提高每层薄膜沉积时的Ar与O2的流量比、逐步提高每层薄膜沉积时的沉积温度或逐步提高每层薄膜沉积时的腔体压力制备得到梯度BiFeO3薄膜。 【当前权利人】常州大学 【当前专利权人地址】江苏省常州市武进区滆湖路1号 【统一社会信用代码】12320000466007300P 【引证次数】3.0 【他引次数】3.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】17
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