【摘要】一种在线SPM生成系统及其控制方法,涉及专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备,尤其适用于集成电路工艺中光致抗蚀材料的剥离剂的处理,包括H2SO4供给单元,H2O2供给单元,SPM混合喷淋单元和控制单元,SPM混合
【摘要】 本发明涉及一种沉池泵区水位自动控制系统,包括检测控制电路和执行部,检测控制电路包括检测电路和控制电路,检测电路用于检测水位反馈给控制电路,通过控制电路控制电机运行,本发明沉池泵区水位自动控制系统,利用三个导体高低位置的不同检测水位,通过电路控制电机运行,水位高时自动抽水,水位低时,电机关闭,防止沉池泵区水位过高,淹没水泵,烧毁电机,结构简单,适于实用。 【专利类型】发明申请 【申请人】中天钢铁集团有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213011 江苏省常州市武进区遥观镇印墅村312国道旁 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】武进区 【申请号】CN201210428823.5 【申请日】2012-10-31 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103792960A 【公开公告日】2014-05-14 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】G05D9/12 【发明人】施俊杰 【主权项内容】一种沉池泵区水位自动控制系统,其特征在于:包括检测控制电路和执行部,所述的检测控制电路包括直流电源、继电器组和用于检测水位的导体组,所述的继电器组包括第一继电器、第二继电器和第三继电器,所述的执行部包括电机,所述的电机通过第三继电器的常开触点连接有供电设备,所述的检测控制电路包括检测电路和控制电路,所述的控制电路包括依次连接的第二继电器的常开触点、第一继电器的常开触点和第三继电器的线圈,所述的第一继电器的常开触点上还并联一个第三继电器的常开触点,所述的检测电路包括直流电源和导体组,所述的直流电源具有正极和负级,所述的导体组包括第一导体、第二导体和第三导体,所述的正极具有两条支路,一条支路连接第一继电器线圈和第一导体,另一条支路连接第二继电器线圈和第二导体,所述的直流电源的负极连接第三导体,所述的第一导体位于沉池的最高水位处,第二导体位于沉池的最低水位处,第三导体位于沉池的最高水位和最低水位之间。 【当前权利人】中天钢铁集团有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市武进区遥观镇印墅村312国道旁 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】9132041273224772XD 【被引证次数】1 【被他引次数】1.0 【家族被引证次数】1
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