【摘要】 本发明涉及蓝宝石晶体的研磨工序，属于晶体材料的加工技术领域。本发明提供了一种用于高质量蓝宝石衬底的研磨液，该研磨液由金刚石微粉、辅助性研磨粉、去离子水、甘油和添加剂配置而成。利用此方法配置的研磨液分散均匀，化学稳定性好；采用此方法配置的研磨液对蓝宝石晶体进行研磨，在保证衬底表面质量的前提下，提高研磨效率，有效地降低了加工成本。采用本发明的研磨液进行研磨的蓝宝石衬底表面粗糙度低、平整度好、无明显划痕且易于清洗，符合工业生产的需求。 【专利类型】发明授权 【申请人】常州同泰光电有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213000 江苏省常州市武进区高新技术产业开发区常武南路588号天安数码城首期A幢天安创新广场404室 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】武进区 【申请号】CN201210101944.9 【申请日】2012-03-31 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102643613B 【公开公告日】2014-03-12 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102643613B 【授权公告日】2014-03-12 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】H01L21/304; C09G1/02 【发明人】储耀卿; 石剑舫; 王善建; 石晓鑫 【主权项内容】一种用于蓝宝石衬底的研磨液，其特征在于：该研磨液按每10升混合溶剂︰1～4升添加剂︰200～1200克混合研磨粉的配比关系混合而成；所述的混合溶剂由去离子水和甘油组成，去离子水和甘油的体积比为100 : 1～10；所述的添加剂的成分包括质量百分比为55-70%的去离子水、10-28%的三乙醇胺、2-6%的十二烷基硫酸钠和3-18%的丙烯酸聚合物；所述的混合研磨粉为辅助研磨粉与金刚石微粉的混合物，辅助研磨粉与金刚石微粉的质量比为3 : 10～60，辅助研磨粉为碳化硅、碳化硼和刚玉中一种或两种或三种的组合；所述的混合研磨粉中辅助研磨粉和金刚石微粉的颗粒大小为2～4微米。 【当前权利人】常州同泰光电有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市武进区高新技术产业开发区常武南路588号天安数码城首期A幢天安创新广场404室 【专利权人类型】有限责任公司(台港澳法人独资) 【统一社会信用代码】91320412056642192J 【引证次数】6.0 【被引证次数】3 【他引次数】6.0 【被他引次数】3.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】17

未经允许不得转载：http://www.zhongzhencnc.com/1789924511.html