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便捷石墨舟专利

时间:2026-09-21    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明涉及真空镀膜设备技术领域,尤其是一种便捷石墨舟。其包括舟体、舟片、支脚、上电极和下电极,舟片设置在舟体内,支脚安装在舟体底部,上电极和下电极分别位于舟体的上部和下部,舟片上设有缺口。在每一片舟片的同一位置设置半圆形缺口,为插、取硅片提供了方便,避免了破损,从而大大提高了硅片镀膜生产效率。 【专利类型】发明申请 【申请人】沈文伟 【申请人类型】个人 【申请人地址】213000 江苏省常州市武进区湟里镇西鲁村委施公庄34号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】武进区 【申请号】CN201210217315.2 【申请日】2012-06-28 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103510078A 【公开公告日】2014-01-15 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】C23C16/458; C23C16/50 【发明人】沈文伟 【主权项内容】一种便捷石墨舟,包括舟体(1)、舟片(2)、支脚(3)、上电极(4)和下电极(5),舟片(2)设置在舟体(1)内,支脚(3)安装在舟体(1)底部,上电极(4)和下电极(5)分别位于舟体(1)的上部和下部,其特征是,舟片(2)上设有缺口(6)。 【当前权利人】沈文伟 【当前专利权人地址】江苏省常州市武进区湟里镇西鲁村委施公庄34号

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