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一种用于制备硅片表面纳米孔阵列的溶液及制备方法专利

时间:2026-09-20    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明公开一种用于制备硅片表面纳米孔阵列的溶液及制备方法,把硅片置入如下溶液中:包括组分:酸5-10%,有机醇5-10%,水80-85%;以重量百分比计;所述酸为草酸或浓度为85%的磷酸,所述有机醇为乙醇或丙三醇,所述水为去离子水;以硅片为阳极,以不锈钢或惰性电极材料为阴极,在40-60V电压下,处理1-8小时,取出硅片,即可得到双面纳米孔硅片;本发明采用硅片无氟阳极氧化技术工艺,该方法与环境兼容性好,具有环保的特点;因溶液为室温,简化了硅片的处理工序;本发明处理后的硅片表面纳米孔的直径和深度根据工艺调整,纳米孔的分布密度也可根据工艺可调,这样降低了成本,提高了光的转化效率。 【专利类型】发明授权 【申请人】河海大学常州校区 【申请人类型】学校 【申请人地址】213022 江苏省常州市新北区晋陵北路200号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201210087659.6 【申请日】2012-03-29 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102560602B 【公开公告日】2014-06-25 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102560602B 【授权公告日】2014-06-25 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】C25D11/32 【发明人】蒋永锋; 包晔峰; 杨可 【主权项内容】一种用于制备硅片表面纳米孔阵列的溶液,其特征在于,包括如下组分:酸5-10%,有机醇5-10%,水80-85%;以重量百分比计;所述酸为草酸或浓度为85%的磷酸,所述有机醇为乙醇或丙三醇,所述水为去离子水。 -官网 【当前权利人】河海大学常州校区 【当前专利权人地址】江苏省常州市晋陵北路200号 【统一社会信用代码】12320400467289477N 【引证次数】3.0 【他引次数】3.0 【家族引证次数】3.0

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