【摘要】 本发明涉及一种电子束流品质测试的高速偏摆扫描控制装置，复杂可编程逻辑器件分别与串口通信等电路连接，串口通信电路与工控机连接，两路同步波形发生电路由数模转换电路、低通滤波电路、光电隔离电路和功率放大电路组成，两路功率放大电路与电磁偏转线圈连接；时钟电路经过复杂可编程逻辑器件分频，产生多种频率的时钟分别用于串口通信、采集卡控制和频率可变的波形发生；工控机经过串口通信电路控制复杂可编程逻辑器件，在时钟电路的触发下，复杂可编程逻辑器件产生两路波形的数字量，放大后的信号驱动电磁偏转线圈产生磁场使电子束偏转扫描。本发明使电子束偏摆扫描的控制精度高，而且数字电路可以极大的提高装置的抗干扰能力。 【专利类型】发明申请 【申请人】南京理工大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】210094 江苏省南京市孝陵卫200号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南京市 【申请人区县】玄武区 【申请号】CN201010263824.X 【申请日】2010-08-27 【申请年份】2010 【公开公告号】CN101966620A 【公开公告日】2011-02-09 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN101966620B 【授权公告日】2012-09-05 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】B23K15/00; G01B7/12; G01R21/00 【发明人】王克鸿; 彭勇; 周琦; 王亚军; 冯曰海; 左从进; 毛智勇; 付鹏飞; 郭光耀; 顾民乐 【主权项内容】一种电子束流品质测试的高速偏摆扫描控制装置，其特征在于：由复杂可编程逻辑器件、串口通信电路、时钟电路、复位电路、电源电路、数模转换电路、低通滤波电路、光电隔离电路和功率放大电路构成，复杂可编程逻辑器件分别与串口通信电路、时钟电路、复位电路、电源电路、两路波形发生电路连接，串口通信电路与工控机连接，两路同步波形发生电路由数模转换电路、低通滤波电路、光电隔离电路和功率放大电路组成，两路功率放大电路与电磁偏转线圈连接；时钟电路经过复杂可编程逻辑器件分频，产生多种频率的时钟分别用于串口通信、采集卡控制和频率可变的波形发生；工控机经过串口通信电路控制复杂可编程逻辑器件，在时钟电路的触发下，复杂可编程逻辑器件产生两路波形的数字量，经过数模转换电路输出模拟波形，低通滤波电路滤除模拟波形中的高次谐波，滤波后的信号经过光电隔离电路输入功率放大器，放大后的信号驱动电磁偏转线圈产生磁场使电子束偏转扫描。 【当前权利人】南京理工大学 【当前专利权人地址】江苏省南京市玄武区孝陵卫200号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000466007597C 【引证次数】5.0 【被引证次数】13 【他引次数】5.0 【被自引次数】2.0 【被他引次数】11.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】14

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