【摘要】 本发明涉及一种镁镍氧基多波段日盲区紫外探测器，包括沿垂直方向依次设置的衬底，底层NiO薄膜，两层以上的多层镁镍氧薄膜，帽层NiO薄膜，第一金属电极(欧姆接触)和第二金属电极(肖特基接触)，所述的多层镁镍氧薄膜由沿垂直方向对称分布的Mgx1Ni1-x1O、Mgx2Ni1-x2O、Mgx3Ni1-x3O……MgxmNi1-xmO、MgO、MgxmNi1-xmO……Mgx3Ni1-x3O、Mgx2Ni1-x2O、Mgx1Ni1-x1O薄膜构成，其中，0＜x1＜x2＜x3＜……＜xm＜1，MgO薄膜为中间层，多层镁镍氧薄膜中的其余薄膜相对于中间层沿垂直方向对称分布。其制备方法为：在衬底表面以下列生长工艺中的一种或多种依次生长薄膜和电极，所述生长工艺采用脉冲激光沉积法、磁控溅射法、电子束蒸发法或分子束外延法。本发明的优点是：通过调节外加偏压，可以实现多波段日盲区紫外探测，实现了器件的集成，单个探测器即可实现多个日盲区波段的探测，相对于分立器件具有低成本，工艺简单，重复性好，易于实现等优点。 【专利类型】发明授权 【申请人】浙江大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】310027 浙江省杭州市浙大路38号 【申请人地区】中国 【申请人城市】杭州市 【申请人区县】西湖区 【申请号】CN201210009896.0 【申请日】2012-01-13 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102522448B 【公开公告日】2014-04-16 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102522448B 【授权公告日】2014-04-16 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】H01L31/108; H01L31/0224; H01L31/18 【发明人】朱丽萍; 郭艳敏; 杨治国; 许鸿斌; 宋世燕; 叶志镇 【主权项内容】一种镁镍氧基多波段日盲区紫外探测器，其特征在于：包括沿垂直方向依次设置的衬底(1)，底层NiO薄膜(2)，多层镁镍氧薄膜(3)，帽层NiO薄膜(4)，所述探测器还设有第一金属电极(5)和第二金属电极(6)，第一金属电极(5)设置在底层NiO薄膜(2)上，第二金属电极(6)设置在帽层NiO薄膜(4)上；所述的多层镁镍氧薄膜(3)由沿垂直方向对称分布的Mgx1Ni1-x1O、Mgx2Ni1-x2O、Mgx3Ni1-x3O……MgxmNi1-xmO、MgO、MgxmNi1-xmO……Mgx3Ni1-x3O、Mgx2Ni1-x2O、Mgx1Ni1-x1O薄膜构成，其中，0＜x1＜x2＜x3＜……＜xm＜1，MgO薄膜为中间层，多层镁镍氧薄膜(3)中的其余薄膜相对于中间层沿垂直方向对称分布。 【当前权利人】浙江大学 【当前专利权人地址】浙江省杭州市浙大路38号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000470095016Q 【引证次数】1.0 【他引次数】1.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】3

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