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三维印录存储器专利

时间:2026-10-09    作者:admin 点击: ( 1 ) 次

【摘要】 一种三维印录存储器,其为一种改进的三维掩膜编程只读存储器,并采用了三种手段来降低数据录入成本:1)使用共享型数据掩膜版(18A)来降低分摊到每个海量出版物上的掩膜版成本;2)采用压印法来录入数据,压印法使用的数据模板比数据掩膜版(18A)便宜很多;3)通过采用偏置印录法来减少数据掩膜版(18A)的数目。本发明还提出一种三维可写印录存储器。 【专利类型】发明申请 【申请人】杭州海存信息技术有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】310051 浙江省杭州市(高新区)邮政信箱5288号 【申请人地区】中国 【申请人城市】杭州市 【申请人区县】滨江区 【申请号】CN201280042212.5 【申请日】2012-09-02 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103875059A 【公开公告日】2014-06-18 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103875059B 【授权公告日】2016-09-07 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】H01L21/00; G11C17/00 【发明人】张国飙 【主权项内容】一种制造三维印录存储器的方法,其特征在于包括如下步骤:1 )在一半导体衬底上形成一衬底电路;2 )在该衬底电路上方形成一层底地址线;3)在该底地址线上形成一层数据录入膜,并通过印录法将数据图形从一数据掩膜版转换到该数据录入膜中;4 )在该数据录入膜上形成一层顶地址线;5 )重复步骤 2 )- 4 )形成另一存储层;其中,该数据图形代表存储于该存储器中数据,所述地址线的最小半周期小于 45nm,所述数据掩膜版的最小特征尺寸大于所述地址线的最小半周期,所述数据掩膜版承载多个不同的海量出版物。 (,) 【当前权利人】杭州海存信息技术有限公司 【当前专利权人地址】浙江省杭州市(高新区)邮政信箱5288号 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91330108088890764K 【引证次数】4.0 【被引证次数】10 【他引次数】4.0 【被自引次数】4.0 【被他引次数】6.0 【家族引证次数】13.0 【家族被引证次数】15

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