【摘要】一种制备五氟乙烷的氟化催化剂、制备方法及应用，属于催化剂制备技术领域。它由碱金属或碱土金属的氧化物或氢氧化物或碳酸盐与载体反应制成，所述的碱金属或碱土金属的氧化物或氢氧化物或碳酸盐与载体的投料重量比为1：1-6，本发明还公开了氟化催
【摘要】 本发明提供一种金属有机化学气相沉淀设备，包括腔体、设置有喷淋头的腔盖、带动所述腔盖开合的位移机构，和驱动所述位移机构工作的电动机系统，所述电动机系统包括电动机和用于驱动电动机工作的电源，其特征在于，还包括连接于所述电动机与电源之间的电源控制模块，所述电源控制模块包括限流器，所述限流器用于限制输出到所述电动机的实际电流不高于一设定值。本发明还提供一种电动机系统。本发明在电路中增加低成本的调压限流电源控制模块，使得电动机转速可调并且实际电流可限制在电动机额定电流的任何范围内，有效限制了电动机转矩，可靠保护了位移机构并保证喷淋头不会损坏。 【专利类型】发明申请 【申请人】光达光电设备科技(嘉兴)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】314300 浙江省海盐县盐北路211号科创园西区1号楼3楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】嘉兴市 【申请人区县】海盐县 【申请号】CN201210591384.X 【申请日】2012-12-31 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103911598A 【公开公告日】2014-07-09 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】C23C16/44; C23C16/52 【发明人】张义明; 陈力兵; 祝龙飞; 房伟 【主权项内容】一种金属有机化学气相沉淀设备，包括腔体、设置有喷淋头的腔盖、带动所述腔盖开合的位移机构，和驱动所述位移机构工作的电动机系统，所述电动机系统包括电动机和用于驱动电动机工作的电源，其特征在于，还包括连接于所述电动机与电源之间的电源控制模块，所述电源控制模块包括限流器，所述限流器用于限制输出到所述电动机的实际电流不高于一设定值。 【当前权利人】光达光电设备科技(嘉兴)有限公司 【当前专利权人地址】浙江省海盐县盐北路211号科创园西区1号楼3楼 【专利权人类型】有限责任公司(台港澳与境内合资) 【统一社会信用代码】91330400MA29GQ2771
未经允许不得转载：http://www.zhongzhencnc.com/1791293239.html
