【摘要】 本发明提供了一种化学抛光方法，该方法先将铜或铜合金置于氧化液中进行氧化，再将氧化后的铜或氧化后的铜合金置于出光液中进行处理。与现有技术“三酸”工艺及采用过氧化氢系列抛光液相比，本发明将化学抛光过程分为两步，先在铜或铜合金的表面形成氧化层，再进行出光处理。首先，氧化液及出光液中不含硝酸，不会产生大量的黄烟污染环境，也降低了对操作人员健康的危害；其次，将抛光过程分为氧化和出光两步，氧化物更易溶解于硫酸中，同时增加了出光操作平台的时间，可避免抛光过程中发生爆沸，降低了反应的危险性；再次，氧化液中添加了醇类化合物为稳定剂，增强了过氧化物的稳定性，使氧化液使用寿命延长。 【专利类型】发明申请 【申请人】浙江伟星实业发展股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】317025 浙江省台州市临海市花园工业区 【申请人地区】中国 【申请人城市】台州市 【申请人区县】临海市 【申请号】CN201210521246.4 【申请日】2012-12-03 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103849876A 【公开公告日】2014-06-11 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103849876B 【授权公告日】2016-04-06 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】C23F3/06 【发明人】郑睿; 梁利斌; 马国杰 【主权项内容】一种化学抛光方法，其特征在于，包括以下步骤：A)将铜或铜合金置于氧化液中进行氧化；所述氧化液包含过氧化物、过硫酸盐、明胶、尿素、醇类化合物与浓硫酸或浓磷酸；B)将氧化后的铜或氧化后的铜合金置于出光液中进行处理；所述出光液包含过氧化物、椰油酸二乙醇酰胺、苯并三氮唑类缓蚀剂、硝酸盐、水与浓硫酸或浓磷酸。 【当前权利人】浙江伟星实业发展股份有限公司 【当前专利权人地址】浙江省台州市临海市花园工业区 【专利权人类型】其他股份有限公司(上市) 【统一社会信用代码】91330000722765769J 【引证次数】3.0 【被引证次数】5 【他引次数】3.0 【被他引次数】5.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】5

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