【摘要】 本发明公开了一种金属图形直接压印转移掩模板基板静电场力分离装置，包括通过气浮滑轨支架设置在底座上的气浮滑轨，气浮滑轨上设置有多个通过连接管连接充气泵的气孔，气浮滑轨上设置有3个滑块，滑块、基座和绝缘电木依次连接，3个滑块上的绝缘电木上依次设置有金属电极和两个相对的金属真空吸盘，金属真空吸盘表面设置有软橡胶层，软橡胶层和金属真空吸盘上设置有连通的气体通道连接抽气泵。本发明利用静电场力实现掩模板和基板的分离，能够避免解决介质层部分区域的破碎问题，提高转移图形的保真度，保持转移介质与基板的较好附着力，可有效延长掩模板的使用寿命，避免基板图形因为应力不均匀而导致的功能器件损坏，结构简单，易于实现。。 【专利类型】发明授权 【申请人】郑州大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】450001 河南省郑州市高新技术开发区科学大道100号 【申请人地区】中国 【申请人城市】郑州市 【申请人区县】中原区 【申请号】CN201210298150.6 【申请日】2012-08-21 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102799064B 【公开公告日】2014-03-26 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102799064B 【授权公告日】2014-03-26 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G03F7/00; H01L21/67; H01L21/683; B82Y10/00 【发明人】段智勇; 李天昊; 李冬雪; 郑国恒; 苏宇锋; 弓巧侠 【主权项内容】一种金属图形直接压印转移掩模板基板静电场力分离装置，其特征在于：包括气浮滑轨，气浮滑轨通过气浮滑轨支架设置在底座上，气浮滑轨上设置有多个气孔，气孔通过连接管连接充气泵，气浮滑轨上设置有3个滑块，滑块通过连接杆连接基座，基座连接绝缘电木，3个滑块上的绝缘电木上依次设置有金属电极和两个相对的金属真空吸盘，设置有金属电极的滑块和中间的滑块上均设置有滑块锁死装置，金属真空吸盘表面设置有软橡胶层，软橡胶层和金属真空吸盘上设置有连通的气体通道连接抽气泵。 ： 【当前权利人】郑州大学 【当前专利权人地址】河南省郑州市高新技术开发区科学大道100号 【统一社会信用代码】12410000415800376M 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】5

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