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一种肖特基栅场效应紫外探测器及其制备方法专利

时间:2026-10-04    作者:admin 点击: ( 1 ) 次

【摘要】 本发明涉及一种肖特基栅场效应紫外探测器及其制备方法,本发明通过采用了肖特基栅场效应晶体管结构,以蓝宝石衬底上外延生长的N型ZnO薄膜为有源层,并在此有源层上利用磁控溅射法制备欧姆源漏电极和肖特基栅极,探测器采用背照式探测方式,通过栅压调整器件工作状态,探测电流由漏源极引出,这种紫外探测器集肖特基结快响应速度和晶体管放大增益特性于一体,采用平面制备工艺,具有结构简单,背照式工作,寄生电容小,工作频带宽等优点,可以获得超高速、大增益、高量子效率的紫外探测器件,在通信和医学等领域有广阔的应用前景。 【专利类型】发明授权 【申请人】河南大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】475004 河南省开封市明伦街85号 【申请人地区】中国 【申请人城市】开封市 【申请人区县】鼓楼区 【申请号】CN201210013991.8 【申请日】2012-01-17 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102569486B 【公开公告日】2014-07-09 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102569486B 【授权公告日】2014-07-09 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】H01L31/112; H01L31/0224; H01L31/18 【发明人】张新安; 海富生; 郑海务; 党玉敬; 丁玲红; 焦洋; 张伟风 【主权项内容】一种肖特基栅场效应紫外探测器,该肖特基栅场效应紫外探测器包括双面抛光的蓝宝石衬底、在该蓝宝石衬底上外延生长的N型ZnO薄膜以及在该N型ZnO薄膜上制备的欧姆源漏电极和肖特基栅极,源极和漏极与ZnO有源层构成欧姆接触,肖特基栅极和ZnO有源层构成肖特基接触,其特征在于:所述肖特基栅极由氧化银和银共同组成,即先用磁控溅射方法得到一层氧化银薄膜,然后再在氧化银上面溅射金属银。 【当前权利人】河南大学 【当前专利权人地址】河南省开封市明伦街85号 【统一社会信用代码】12410000416306716T 【引证次数】3.0 【他引次数】3.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】5

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