【摘要】 一种平板式静电微执行器的控制方法，包括1)测出平板式静电微执行器的可动极板与固定极板之间的间距并将该值转换成数字量l；2)计算第一变量；构建系统状态；采用非线性映射方法将上述第一变量、系统状态以及预定参考量映射到实数空间使它们转变成无约束变量；4)计算当前未知参数的估计值，并对该未知参数的估计值进行自适应调节，计算出调节参数。5)根据上述各值反推计算自适应控制器的控制输出；6)将所述控制输出转换成模拟信号控制所述静电微驱动器。本发明保证了平板式静电微执行器的可动极板不能与固定极板碰撞但可动极板的初始位置可在固定极板之间的所有位置，使可动极板的初始位置达到了最大化。 【专利类型】发明授权 【申请人】郭涛; 王爱民; 熊晶 【申请人类型】个人 【申请人地址】455000 河南省安阳市黄河大道85号(计算机与信息工程学院) 【申请人地区】中国 【申请人城市】安阳市 【申请号】CN201210169882.5 【申请日】2012-05-29 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102692874B 【公开公告日】2014-02-05 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102692874B 【授权公告日】2014-02-05 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G05B13/04 【发明人】郭涛; 王爱民; 熊晶; 栗青生; 李娜 【主权项内容】1.一种平板式静电微执行器的控制方法，其特征在于：包括 1)测出平板式静电微执行器的可动极板与固定极板之间的间距并将该值转换成数字量l； 2)计算第一变量 其中l0为可动极板不动时距离固定极板的间距；构建系统状态x2， 其中ε为固定极板之间的介电常数，m为可动极板的质量，A为面积，σ和β为比例因子，τ=σt，t是时间； 采用非线性映射方法将上述第一变量x1、系统状态x2以及预定参考量yr映射到实数空间使它们转变成无约束变量 和 其中 活动极板的约束区间Ωc={-kc, kc}内； 3)计算虚拟控制量α1，利用反馈线性化的方法计算虚拟控制量， 其中g1为映射时产生的已知非线性函数，c1为构造时选取的设计参数； 4)计算当前未知参数θ的估计值 并对该未知参数的估计值进行自适应调节，计算出调节参数 其中所述未知参数是系统中可动极板面积、与固定极板之间的介电常数和弹性常数；所述对未知参数的估计值的自适应调节是采用误差积分规则进行的，公式为 5)反推计算自适应控制器的控制输出u， 其中c2>0也是设计参数，g1为映射时产生的已知非线性函数， 6)将所述控制输出转换成模拟信号控制所述平板式静电微执行器。 【当前权利人】郭涛; 王爱民; 熊晶 【当前专利权人地址】河南省安阳市黄河大道85号(计算机与信息工程学院); ; 【家族被引证次数】2

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