【摘要】: 本发明涉及电气设备,公开了一种射频电源接入器,以提高射频电源发生器向PECVD设备的有效输出功率。一种射频电源接入器,包括:两个条形导电板,用于电连接化学气相沉积PECVD设备的射频电源输入端的第一条形汇接板;以及用于电连接射频
【摘要】 一种具有平面四连杆闭环结构的三自由度并联模拟台,其包括动平台、定平台以及连接这两个平台的四条分支, 其中分布在周围的为三条结构完全相同的RPS驱动分支,另一条为PS中间承载约束分支,上述三条RPS驱动分支均主要由第一转动连接件、四连杆机构和线性模组组成,并以等边三角形方式布置。PS中间承载约束分支位于动平台与定平台中心连线上,该分支由第二转动连接件、升降平衡装置、中间平台和支撑架组成,上述第二转动连接件中心与动平台中心连线垂直于动平台。本发明平台高度低、占用体积小,承载能力强,工作空间大。 【专利类型】发明授权 【申请人】燕山大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】066004 河北省秦皇岛市海港区河北大街西段438号 【申请人地区】中国 【申请人城市】秦皇岛市 【申请人区县】海港区 【申请号】CN201210530365.6 【申请日】2012-12-11 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103029121B 【公开公告日】2014-11-12 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103029121B 【授权公告日】2014-11-12 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】B25J9/00 【发明人】赵铁石; 陈伟伟 【主权项内容】一种具有平面四连杆闭环结构的三自由度并联模拟台,其主要包括动平台、定平台以及连接这两个平台的四条分支, 其中分布在周围的为三条结构完全相同的RPRRRRS驱动分支,另一条为PS中间承载约束分支,其特征在于:上述三条RPRRRRS驱动分支以等边三角形方式布置,其中的第一转动连接件固连在动平台上,该转动连接件由轴线相交且不在同一面里的三个转动副组成,其通过固定在滑块连接法兰上的四杆机构与线性模组相连,该线性模组的一端与固连在中间平台的上连接座连接,其另一端与固定在定平台的下连接座连接,并倾斜布置, 同时与定平台面夹角为35~85°,PS中间承载约束分支位于动平台与定平台中心连线上,该分支中的第二转动连接件与动平台固连,该转动连接件的另一端与固定在中间平台的升降平衡装置连接,在该升降平衡装置内部设有弹簧、液压缸或气缸,支撑定平台和中间平台的支撑架的三条支腿的一端与中间平台固连,其另一端与定平台固连,并呈正三角形布置,上述第二转动连接件中心与动平台中心连线垂直于动平台。。: 【当前权利人】燕山大学 【当前专利权人地址】河北省秦皇岛市海港区河北大街西段438号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】121300004024685546 【引证次数】8.0 【被引证次数】3 【自引次数】3.0 【他引次数】5.0 【被自引次数】3.0 【家族引证次数】8.0 【家族被引证次数】44
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