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一种射频电源接入器专利

时间:2026-10-03    作者:admin 点击: ( 1 ) 次

【摘要】 : 本发明涉及电气设备,公开了一种射频电源接入器,以提高射频电源发生器向PECVD设备的有效输出功率。一种射频电源接入器,包括:两个条形导电板,用于电连接化学气相沉积PECVD设备的射频电源输入端的第一条形汇接板;以及用于电连接射频电源发生器的射频电源输出端的第二条形汇接板;其中:所述第一条形汇接板的两端分别连接一个条形导电板的一端,所述第二条形汇接板的两端分别电连接一个条形导电板的另一端。 【专利类型】发明申请 【申请人】新奥光伏能源有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】065001 河北省廊坊市经济技术开发区华祥路106号 【申请人地区】中国 【申请人城市】廊坊市 【申请人区县】广阳区 【申请号】CN201210424106.5 【申请日】2012-10-30 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103794895A 【公开公告日】2014-05-14 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103794895B 【授权公告日】2016-02-24 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】H01R13/00; H01R13/02; H01R31/06 【发明人】徐湛; 苗为民; 王青海 【主权项内容】一种射频电源接入器,其特征在于,包括:两个条形导电板,用于电连接化学气相沉积PECVD设备的射频电源输入端的第一条形汇接板;以及用于电连接射频电源发生器的射频电源输出端的第二条形汇接板;其中:两个条形导电板相对设置,所述第一条形汇接板的两端分别连接一个条形导电板的一端,所述第二条形汇接板的两端分别电连接一个条形导电板的另一端。 【当前权利人】新奥光伏能源有限公司 【当前专利权人地址】河北省廊坊市经济技术开发区华祥路106号 【专利权人类型】有限责任公司(台港澳与境内合资) 【统一社会信用代码】911310006720799388 【引证次数】7.0 【他引次数】7.0 【家族引证次数】7.0

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