【摘要】 一种基于MEMS敏感元件的气体流量计量装置及其测量放法。该装置由流量计外壳，已经达到预定测量精度要求的MEMS流量传感器和MEMS校准传感器，电路系统，连接电路系统和MEMS校准传感器和MEMS流量传感器的连接插针。在实际的测量过程中，MEMS流量传感器的输出特性会随着测量条件(环境温度、气体压力、分子构成、机械振动等)而发生变化，因此，MEMS校准传感器不断感知当前的测量条件，然后通过校准传感器输出(T，P，C)对流量传感器的模拟信号及计算模型的影响量借助模拟或者数字的方法进行校准，获得精准的流量结果。 【专利类型】发明申请 【申请人】廊坊新衡科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】065001 河北省廊坊市开发区华祥路118号 【申请人地区】中国 【申请人城市】廊坊市 【申请人区县】广阳区 【申请号】CN201210353085.2 【申请日】2012-09-20 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103674120A 【公开公告日】2014-03-26 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103674120B 【授权公告日】2018-07-06 【授权公告年份】2018.0 【IPC分类号】G01F1/00; G01F25/00 【发明人】董胜龙; 黄忠; 李国国; 李龙; 史进超 【主权项内容】一种基于MEMS敏感元件的气体流量计量装置，包括：流量计外壳，其包括被测量气体流通于其中的管道；MEMS流量传感器，提供与所测气体流量相关的输出信号；MEMS校准传感器，输出用于对MEMS流量传感器测量的结果进行实时校准的直接反映流量传感器输出的电器特性信号和间接反映流量传感器输出的环境信息信号；电路系统，其设置在所述流量计外壳外部，通过连接插针与MEMS流量传感器相连接，用于MEMS对校准传感器输出信号的采集、对MEMS流量传感器测量信号的采集、校准、以及所述被测气体的流量计算。 【当前权利人】新奥科技发展有限公司 【当前专利权人地址】河北省廊坊市开发区广阳道北 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】9113100159992222X1 【引证次数】5.0 【被引证次数】4 【他引次数】5.0 【被他引次数】4.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】4

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