【摘要】本发明公开了一种新型灯具，包括壳体，壳体内设有发光源及控制器，其中，所述壳体内壁上设有耐热层，由于所述壳体内壁上设有耐热层提高了壳体的耐热性，避免由于过热而损坏的现象，因此，大大延长了本发明的使用寿命。【专利类型】发明申请【申请人】
【摘要】 本发明公开了一种平板式PECVD气路接孔结构，特气气孔的输出端连通有特气孔接头，特气孔接头具有顶端封闭的管体，在管体的侧壁上开设有多个侧孔，每个侧孔的输出端均连通有侧管，每个侧管的输出方向与特气气孔的输出方向相同。本发明提供的平板式PECVD气路接孔结构，通过在特气气孔的输出端连通具有多个侧孔的特气孔接头，避免出现某一位置特气孔堵塞的现象从而保证设备运行的长时间的稳定性，从而延长设备维护周期，增加设备的产量，另外减少因为特气孔的堵塞对沉积的氮化硅膜层厚度的不同导致片间色差等不合格片的产生，提高产品的合格率。本发明还公开了一种应用了上述气路接孔结构的平板式PECVD设备。 【专利类型】发明授权 【申请人】英利能源(中国)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】071051 河北省保定市朝阳北大街3399号 【申请人地区】中国 【申请人城市】保定市 【申请人区县】竞秀区 【申请号】CN201210537145.6 【申请日】2012-12-12 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102978587B 【公开公告日】2014-07-23 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102978587B 【授权公告日】2014-07-23 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】C23C16/44; C23C16/455 【发明人】范志东; 田世雄; 马继奎; 汤欢 【主权项内容】一种平板式PECVD气路接孔结构，其特征在于，特气气孔的输出端连通有特气孔接头，所述特气孔接头具有顶端封闭的管体，在所述管体的侧壁上开设有多个侧孔，每个所述侧孔的输出端均连通有侧管，每个所述侧管的输出方向与所述特气气孔的输出方向相同。 【当前权利人】英利能源(中国)有限公司 【当前专利权人地址】河北省保定市朝阳北大街3399号 【专利权人类型】其他有限责任公司 【统一社会信用代码】91130600667708103C 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】5
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