【摘要】 本发明涉及一种高透过率低反射率的减反射膜镀膜方法，是数码相机视窗玻璃、滤光片的关键技术，该技术还可应用于防辐射玻璃、隔温玻璃、车窗玻璃、太阳能利用等多种领域。在真空镀膜设备中由以下步骤完成：(1)抽真空(2)加热(3)离子清洗(Ar+O2)(4)镀SiO2(5)全氧气氛刻蚀(只充O2)(6)镀TiO2(7)全氧气氛刻蚀(只充O2)，重复步骤(4)-(7)直到膜系结束。在不增加真空镀膜设备要求的条件下，提高AR膜在400-700纳米光波长区域的透过率，进一步降低反射率。 【专利类型】发明授权 【申请人】南昌欧菲光科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】330000 江西省南昌市经济技术开发区黄家湖路 【申请人地区】中国 【申请人城市】南昌市 【申请人区县】新建区 【申请号】CN201210147042.9 【申请日】2012-05-14 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102732830B 【公开公告日】2014-06-18 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102732830B 【授权公告日】2014-06-18 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G02B1/11; C23C14/08; C23C14/22; G02B1/115 【发明人】江河 【主权项内容】1.一种高透过率低反射率的减反射膜镀膜方法，其特征在于在真空镀膜设备中由以下步骤完成： (１)、常规抽真空步骤； (２)、常规加热步骤； (３)、Ar+O2的离子清洗步骤； (４)、在膜上镀SiO2； (５)、在全氧气氛刻蚀，炉内气压与镀膜阶段相同，时间２-５分钟；同时使用脉冲电源为离子源电源的离子活化处理，使得在脉冲电场的作用下，镜片表面的原有低价离子振荡加剧，活跃程度增大，更容易进一步失去电子，与氧形成牢固、稳定的化学键结构； (６)、在膜上镀ＴiO2； (７)、在全氧气氛刻蚀，炉内气压与镀膜阶段相同，时间２-５分钟；同时使用脉冲电源为离子源电源的离子活化处理，使得在脉冲电场的作用下，镜片表面的原有低价离子振荡加剧，活跃程度增大，更容易进一步失去电子，与氧形成牢固、稳定的化学键结构； 重复步骤(4)-(7)直到膜系结束。 【当前权利人】安徽精卓光显技术有限责任公司 【当前专利权人地址】安徽省六安市舒城县杭埠镇精密电子产业园1#楼 【专利权人类型】其他有限责任公司 【统一社会信用代码】913601085638140676 【引证次数】3.0 【他引次数】3.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】10

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