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一种十二寸晶圆框架专利

时间:2026-10-01    作者:admin 点击: ( 4 ) 次

【摘要】 本发明公开了一种十二寸晶圆框架,包括一框架主体,所述框架主体为圆环形被沿其外边缘截取四部分后的形状;在此其截取位置四条边定义为截取边,相邻所述截取边之间的框架主体弧形外边缘部分定义为弧形边;其中,间隔的两个所述截取边相互平行,相邻的两个所述截取边相互垂直;且四条所述截取边中的其中一条截取边两端设有两个齿形缺口。通过将框架主体设计为圆环形被沿其外边缘截取四部分后的形状;且四条所述截取边中的其中一条边两端设有两个齿形缺口,使得晶圆加工时支撑效果好,易于加工,从而达到了设计合理、结构简单、且固定牢固应用效果好的目的。 【专利类型】发明申请 【申请人】昆山英博尔电子科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215345 江苏省苏州市昆山市淀山湖镇双马路85号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】昆山市 【申请号】CN201210361033.X 【申请日】2012-09-25 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103681418A 【公开公告日】2014-03-26 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】H01L21/673 【发明人】李德峰 【主权项内容】一种十二寸晶圆框架,其特征在于,包括一框架主体,所述框架主体为圆环形被沿其外边缘截取四部分后的形状;在此其截取位置四条边定义为截取边,相邻所述截取边之间的框架主体弧形外边缘部分定义为弧形边;其中,间隔的两个所述截取边相互平行,相邻的两个所述截取边相互垂直;且四条所述截取边中的其中一条截取边两端设有两个齿形缺口。 【当前权利人】昆山英博尔电子科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市昆山市淀山湖镇双马路85号 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91320583695521688D 【引证次数】6.0 【他引次数】6.0 【家族引证次数】6.0

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