【摘要】 本发明公开了一种掩模框架及其对应的掩模组件，其中掩模框架包括包含两组对边的内框、置于内框外侧的强化杆及用于连接内框和强化杆的连接机构；内框与强化杆接触部分有支撑机构，造成两者之间存在一定的间隙，同时，内框与强化杆对应区域有配合孔，配合孔的排布可根据受力情况进行计算排布；掩模框架还可以包括支撑杆和弹性部件，可以进一步降低掩模板的下垂现象。本发明公开的对应的掩模组件包括本发明公开的掩模框架和掩模部件，掩模部件可以是单块一体成型的掩模板，也可以是多块拼接在一起的掩模板。本发明公开的一种掩模框架及其对应的掩模组件可以进一步降低掩模板的下垂现象，提升产品质量、精度以及良品率，同时也可以制备尺寸更大的面板。 【专利类型】发明申请 【申请人】昆山允升吉光电科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】昆山市 【申请号】CN201210329270.8 【申请日】2012-09-07 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103668053A 【公开公告日】2014-03-26 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】C23C14/04; C23C16/04; H01L51/56 【发明人】魏志凌; 高小平; 张炜平 【主权项内容】一种掩模框架，其特征在于, 包括：内框, 所述内框用来与掩模板周边连接固定，起到将掩模板绷紧的作用；强化杆, 所述强化杆置于所述内框外侧与所述内框相互作用，起到减少或弥补当所述内框将所述掩模板绷紧时产生的所述内框边框向内收缩量的作用；及连接机构，所述连接机构用于连接所述内框和置于所述内框外侧的所述强化杆，起到支撑所述强化杆，将所述内框向内收缩的边框向外进行拉伸，起到减少或弥补当所述内框将所述掩模板绷紧时产生的所述内框边框向内收缩量的作用。 【当前权利人】昆山允升吉光电科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320583688327262Q 【引证次数】8.0 【被引证次数】6 【他引次数】8.0 【被他引次数】6.0 【家族引证次数】10.0 【家族被引证次数】8

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