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一种加工双面ITO玻璃的紫外激光刻蚀装置专利

时间:2026-09-30    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明公开了一种加工双面ITO玻璃的紫外激光刻蚀装置,可以使用紫外激光将照射部位薄膜去除, 达到对双面ITO玻璃的加工目的, 本发明公开的刻蚀装置包括支撑机构和紫外激光光路加工机构,所述支撑机构包括上支撑装置和下支撑装置,所述上下支撑装置各包含一套紫外激光光路加工机构,用于提供加工双面ITO玻璃的紫外激光束,同时所述紫外激光刻蚀装置还包括吸附孔,提供固定双面ITO玻璃的吸附力。。 【专利类型】发明申请 【申请人】昆山思拓机器有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215347 江苏省苏州市昆山市苇城南路1666号清华科技园创新大厦一楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】昆山市 【申请号】CN201210351728.X 【申请日】2012-09-21 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103658992A 【公开公告日】2014-03-26 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】B23K26/362; B23K26/062; B23K26/70; B23K26/08 【发明人】魏志凌; 宁军; 高永强 【主权项内容】一种加工双面ITO玻璃的紫外激光刻蚀装置,包括:紫外激光光路加工机构,所述紫外激光光路加工机构包括能量衰减部件、扫描部件,所述能量衰减部件用于激光束能量调节,所述扫描部件用于对双面ITO玻璃进行扫描;和支撑机构,所述支撑机构包括上支撑机构和下支撑机构,所述上下支撑机构各包含有所述紫外激光光路加工机构;和激光器。 【当前权利人】昆山思拓机器有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市昆山市苇城南路1666号清华科技园创新大厦一楼 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320583550252210T 【引证次数】6.0 【被引证次数】1 【自引次数】1.0 【他引次数】5.0 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】1

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