【摘要】 本发明公开了一种复合掩模板组件，包括掩模主体和掩模框，所述掩模主体包括两层结构，掩模层和支撑层，所述掩模层包括有开口，所述开口构成掩模板图案区；所述支撑层包括有与所述掩模层开口相对应的支撑条，所述支撑层与所述掩模层紧密结合，起到对所述掩模层支撑作用，且所述支撑层不会对所述开口形成遮挡。本发明中将金属合金材料作为支撑层，其上与掩模图案对应的区域与传统掩模板相比，内部金属材料大量减少，虽然增加有机材料构成的掩模层，但其质量相对较轻，从而使得复合掩模板的总体质量减少。在以相同的张力将复合掩模板固定在外框上时，复合掩模板的内部下垂量也将会弱化，降低或弥补掩模主体板面产生下垂的情况，改善产品的精度、质量，并提高良品率。 【专利类型】发明申请 【申请人】昆山允升吉光电科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】昆山市 【申请号】CN201210329246.4 【申请日】2012-09-07 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103668052A 【公开公告日】2014-03-26 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】C23C14/04; C23C16/04 【发明人】魏志凌; 高小平; 潘世珎 【主权项内容】一种复合掩模板组件，包括掩模主体和掩模框，其特征在于，所述掩模主体包括两层结构，掩模层和支撑层，所述掩模层包括有开口，所述开口构成掩模板图案区；所述支撑层包括有与所述掩模层开口相对应的支撑条，所述支撑层与所述掩模层紧密结合，起到对所述掩模层支撑作用，且所述支撑层不会对所述开口形成遮挡。 【当前权利人】昆山允升吉光电科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320583688327262Q 【引证次数】3.0 【被引证次数】13 【自引次数】1.0 【他引次数】2.0 【被自引次数】4.0 【被他引次数】9.0 【家族引证次数】16.0 【家族被引证次数】16

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