【摘要】 本发明公开了一种可拆式阴极试验装置，包括石英钟罩、支撑板、排气管和电极组件，所述石英钟罩可拆卸设于所述支撑板上侧面上并形成一用于容置待测温阴极工件的密封空间，所述排气管和电极组件分别固设于所述支撑板上并连通所述密封空间。该可拆式阴极试验装置能重复使用，降低产品开发成本。 【专利类型】发明申请 【申请人】昆山国力真空电器有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215301 江苏省苏州市昆山市开发区长江中路179号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】昆山市 【申请号】CN201210332955.8 【申请日】2012-09-11 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103674317A 【公开公告日】2014-03-26 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103674317B 【授权公告日】2016-04-06 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】G01K11/00; G01R31/00 【发明人】黄俊杰 【主权项内容】一种可拆式阴极试验装置，其特征在于：包括石英钟罩(1)、支撑板、排气管(2)和电极组件(3)，所述石英钟罩可拆卸设于所述支撑板上侧面上并形成一用于容置待测温阴极工件(4)的密封空间(5)，所述排气管和电极组件分别固设于所述支撑板上并连通所述密封空间。 （，） 【当前权利人】昆山国力电子科技股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市昆山开发区西湖路28号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320583724173046J 【引证次数】7.0 【自引次数】1.0 【他引次数】6.0 【家族引证次数】7.0

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