【摘要】 本发明公开了一种太阳能硅片及电池片缺陷检测系统，光致荧光检测平台上设有能够传信于处理器的少子寿命探测器，电致荧光检测平台上设有能够给样品施加直流电源的加电装置，且该加电装置、样品和电致荧光检测平台能够形成一个导电回路，少子寿命检测模块能够朝光致荧光检测平台发射闪光，激光照明系统能够朝光致荧光检测平台和电致荧光检测平台之一发射激光，图像采集系统能够采集样品发出的荧光图像并传信给处理器，本发明一台设备可以分别进行光致荧光检测、电致荧光检测、少子寿命测试和串联电阻测试，样品缺陷检测分析全面、准确，且无需反复更换设备，操作方便，有效提高工作效率，节约了生产成本。。 【专利类型】发明申请 【申请人】苏州中导光电设备有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215311 江苏省苏州市昆山市巴城镇临港工业园瑞安路8号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】昆山市 【申请号】CN201210539390.0 【申请日】2012-12-13 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103871919A 【公开公告日】2014-06-18 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103871919B 【授权公告日】2016-06-29 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】H01L21/66 【发明人】王利顺; 陈利平; 裴世铀; 李波 【主权项内容】一种太阳能硅片及电池片缺陷检测系统，其特征是：包括机架、样品放置平台、处理器(12)、少子寿命检测模块(1)、图像采集系统(4)和激光照明系统(5)，所述少子寿命检测模块(1)、图像采集系统(4)和激光照明系统(5)分别固设于机架上，样品放置平台包括固定于机架上的导轨(3)和能够沿导轨(3)滑动的光致荧光检测平台(2)及电致荧光检测平台(7)，所述光致荧光检测平台(2)上设有少子寿命探测器(10)，该少子寿命探测器(10)传信于处理器(12)，所述电致荧光检测平台(7)上设有能够给样品(11)施加直流电源的加电装置(16)，且该加电装置(16)、样品(11)和电致荧光检测平台(7)能够形成一个导电回路，少子寿命检测模块(1)能够朝位于设定位置的光致荧光检测平台(2)上的样品(11)发射闪光，激光照明系统(5)能够朝光致荧光检测平台(2)和电致荧光检测平台(7)之一上的样品(11)发射激光，图像采集系统(4)能够采集处于设定位置的样品(11)发出的荧光图像并传信给处理器(12)进行分析和处理。 【当前权利人】中导光电设备股份有限公司 【当前专利权人地址】广东省肇庆市高新区北江大道20号之一 【专利权人类型】有限责任公司(非自然人投资或控股的法人独资) 【统一社会信用代码】91320583684106040G 【引证次数】7.0 【被引证次数】5 【自引次数】2.0 【他引次数】5.0 【被他引次数】5.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】5

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