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蒸发镀膜均匀性挡板专利

时间:2026-09-30    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明涉及的一种蒸发镀膜均匀性挡板,其包括中心杆和设置在中心杆上的档板本体,所述档板本体上与中心杆对称的两侧边为外凸圆弧形边,在所述外凸圆弧形边上设置有复数个钜齿口,即所述外凸圆弧形边呈锯齿状。本发明通过将外凸圆弧形边的边缘带钜齿状,调整各片产品中心点波长的一致,更好的控制每片产品的周边的各点的波长,本发明调整产品的各点波长的一致性,提高生产良率。 【专利类型】发明授权 【申请人】赫得纳米科技(昆山)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇都市路21号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】昆山市 【申请号】CN201210066103.9 【申请日】2012-03-14 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102605328B 【公开公告日】2014-09-24 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102605328B 【授权公告日】2014-09-24 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】C23C14/24 【发明人】张全文 【主权项内容】蒸发镀膜均匀性挡板,其包括中心杆和设置在中心杆上的档板本体,其特征在于,所述档板本体上与中心杆对称的两侧边为外凸圆弧形边,在所述外凸圆弧形边上设置有复数个钜齿口,即所述外凸圆弧形边呈锯齿状,所述钜齿口呈半圆形,均匀的设置在外凸圆弧形边上。 【当前权利人】赫得纳米科技(昆山)有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市昆山市玉山镇都市路21号 【专利权人类型】有限责任公司(外国法人独资) 【统一社会信用代码】913205837833974966 【引证次数】1.0 【他引次数】1.0 【家族引证次数】5.0

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