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一种复合掩模板专利

时间:2026-09-29    作者:admin 点击: ( 1 ) 次

【摘要】 本发明公开了一种复合掩模板,所述复合掩模板,至少包括两层相互贴紧联接平板结构,至少一层为金属层结构,至少一层为非金属层结构,所述金属层结构与所述非金属层结构之间具有良好的结合力,复合模板上设置有贯通开口;非金属层结构为聚合物层结构。本发明提供的复合掩模板采用激光加工多层不同质板层结构,利用材料自身特点,则可以解决以往单层制作的掩模板无法解决的开口粗糙度低、精度高的共存问题。 【专利类型】发明申请 【申请人】昆山允升吉光电科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】昆山市 【申请号】CN201210524525.6 【申请日】2012-12-10 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103862744A 【公开公告日】2014-06-18 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】B32B15/04; B32B27/06; B32B38/04 【发明人】魏志凌; 高小平 【主权项内容】一种复合掩模板,其特征在于,至少包括两层相互贴紧联接平板结构,至少一层为金属层结构,至少一层为非金属层结构,所述金属层结构与所述非金属层结构之间贴紧结合,所述复合模板上设置有贯通开口。 【当前权利人】昆山允升吉光电科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320583688327262Q 【引证次数】5.0 【被引证次数】3 【自引次数】1.0 【他引次数】4.0 【被他引次数】3.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】3

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