【摘要】 本发明公开了一种多晶硅太阳电池制程中所用混酸溶液的检测方法，用于检测由氢氟酸、硝酸和氟硅酸构成的混酸体系，包括以下步骤：先通过酸碱中和的方法检测出溶液中的总酸浓度；然后将经酸碱中和后的溶液加热煮沸，使氟硅酸盐分解产生氢离子，用碱液滴定测出氢离子含量进而计算得到氟硅酸浓度；再利用氧化还原滴定法检测出混酸溶液中硝酸的浓度；最后用总酸浓度减去氟硅酸和硝酸的浓度，则可获得氢氟酸的浓度。本发明流程简单易操作，使用人工少，不需要高端设备，经济投入少，检测准确性在95%以上，可用于长期实时监控多晶硅太阳电池片生产过程中的制绒工序工艺、湿刻工艺及设备的稳定性。。 （，） 【专利类型】发明授权 【申请人】昊诚光电(太仓)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215400 江苏省苏州市太仓市经济开发区常胜北路168号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】太仓市 【申请号】CN201210112213.4 【申请日】2012-04-17 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102621273B 【公开公告日】2014-04-02 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102621273B 【授权公告日】2014-04-02 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G01N31/16; G01N31/22; G01N31/20; G01N25/00 【发明人】牛春晓; 吴卫伟; 安子凤; 黄高山 【主权项内容】1.一种多晶硅太阳电池制程中所用混酸溶液的检测方法，用于检测由氢氟酸、硝酸和氟硅酸构成的混酸体系，其特征在于：所述检测方法包括以下步骤：(1)、取一定量经过稀释的待测混酸溶液，在有氯化钾或硝酸钾存在的情况下降温至0~5℃；用酚酞作指示剂，用氢氧化钠或氢氧化钾标准液滴定溶液至浅粉色保持15 秒而不褪色，使酸转换成盐，经过换算得到所述混酸溶液中的总酸浓度C总H+；(2)、将经过步骤(1)酸碱中和后的溶液加热至沸腾，使氟硅酸盐分解产生氢离子，然后用氢氧化钠或氢氧化钾标准液滴定溶液至浅粉色保持15 秒而不褪色，检测出氟硅酸盐分解产生的氢离子的浓度，进而经过换算得到所述混酸溶液中氟硅酸的浓度CH2SiF6；(3)、另取一定量经过稀释的待测混酸溶液，加入设定量的硫酸亚铁铵和一定量的碳酸氢钠；待碳酸氢钠与混酸溶液中的氢离子反应放出的二氧化碳将反应装置内的空气排尽后，将溶液加热煮沸2~5 分钟，再往其中加入钼酸铵溶液，继续加热煮沸6~12 分钟；待溶液冷却至室温后，用高锰酸钾标准液滴定溶液至粉红色不褪，经过换算得到硝酸的浓度CHNO3；(4)通过公式(Ⅰ)的计算，得出氢氟酸的浓度CHF；CHF= C总H+ -2×CH2SiF6- CHNO3(Ⅰ)。 【当前权利人】济宁高新科达科技项目服务有限公司 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】913205855593257890 【引证次数】5.0 【被引证次数】3 【他引次数】5.0 【被他引次数】3.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】14

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