【摘要】本发明涉及基于光学相干断层扫描技术的光纤环质量检测方法及装置，属于光学测量、光纤传感及检测技术领域。该方法包括：将被测光纤环固定在一个旋转机构上；将光学相干断层扫描系统探头垂直固定于被测光纤环上方；以光纤环圆心为旋转轴旋转该光纤环，
【摘要】 本发明涉及材料表面改性技术，特别提供了一种双辉化学气相沉积装置及工艺。该装置为一个密闭的沉积室，沉积室有一至三个进气口和一个出气口，一个阳极和两个阴极组成。沉积室内壁材质为不锈钢，沉积真空室内的结构件为金属和/或石墨材料；沉积室极限真空10-3Pa以下，沉积室内的工作气压0.01Pa-50Pa；进气口气体为氩气、硅烷、金属醇盐等反应气体；装置中阳极接通于沉积室，两个阴极分别接通于靶材和工件材料，其中工件电压范围为0V～-1200V，靶材电压范围为0V～-1200V；装置中工件表面温度为800℃-1200℃，且该温度是工件材料附近局部区域的温度。 【专利类型】发明申请 【申请人】苏州宏久航空防热材料科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215400 江苏省太仓市城厢镇人民南路162号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】太仓市 【申请号】CN201210259397.7 【申请日】2012-07-24 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103572252A 【公开公告日】2014-02-12 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】C23C16/44; C23C16/50; C23C16/455 【发明人】陈照峰; 吴王平 【主权项内容】一种双辉化学气相沉积装置，包括一个密闭的沉积室、进气、排气和抽真空系统，其特征在于沉积室有一至三个进气口和一个出气口，一个阳极、一个放置工件的阴极和一个放置靶材的阴极。 【当前权利人】苏州宏久航空防热材料科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省太仓市城厢镇人民南路162号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320585585561523G 【引证次数】4.0 【自引次数】1.0 【他引次数】3.0 【家族引证次数】4.0
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