【摘要】 本发明涉及一种化学腐蚀废液的回收处理方法和系统，所述方法采用电解技术与离子交换膜技术相结合实现硅晶片的碱腐蚀废液的回收利用。本发明所涉及的回收处理方法可以减少碱腐蚀液的消耗，避免大量废水的排放，从而做到降低生产成本，节约能源，保护环境，同时本发明的回收处理系统操作简单，回收处理系统几乎可实现零污染排放。。 【专利类型】发明申请 【申请人】库特勒自动化系统(苏州)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215000 江苏省苏州市兴吴路71号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】吴中区 【申请号】CN201210275215.5 【申请日】2012-08-03 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103570167A 【公开公告日】2014-02-12 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】C02F9/06 【发明人】张新华; 范琼; 潘加永 【主权项内容】一种硅晶片碱腐蚀废液的回收处理方法，所述方法包括一下步骤：[1]对硅晶片的碱腐蚀废液通过离心或过滤进行固液分离从而得到澄清废液；[2]将步骤[1]中得到的澄清废液加入电解槽的中间室或阴极室中；[3]将HF溶液或硫酸溶液加入阳极室；[4]通直流电进行电解；[5]对产生的沉淀进行后处理。 【当前权利人】库特勒自动化系统(苏州)有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市兴吴路71号 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】913205007344058670 【引证次数】7.0 【被引证次数】5 【自引次数】1.0 【他引次数】6.0 【被他引次数】5.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】5

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