【摘要】 本发明涉及延伸定容法校准正压漏孔下限的系统及方法，用于微小流量正压漏孔的校准和测量，属于测量技术领域。包括气源、微调阀、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、第四真空阀门、第五真空阀门、差压规、真空规、消气剂泵、容积、抽气泵、正压漏孔和恒温箱；本发明采用高精度恒温装置减小了温度对测量结果的影响，采用消气剂泵消除了器壁活性气体放气对测量结果的影响，采用高精度差压规提高了测量精度，通过减小定容室体积的方法减小了累积时间，将定容法校准正压漏孔下限延伸至10-8Pa m3/s，提高了正压漏孔校准的效率，减小了校准的测量不确定度，降低了成本。 【专利类型】发明授权 【申请人】江苏东方航天校准检测有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215121 江苏省苏州工业园区展业路18号中新生态科技城D栋2F 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】吴中区 【申请号】CN201210024798.4 【申请日】2012-02-06 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102589820B 【公开公告日】2014-10-15 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102589820B 【授权公告日】2014-10-15 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G01M3/26 【发明人】卢耀文 【主权项内容】1.延伸定容法校准正压漏孔下限的方法，该方法所使用的延伸定容法校准正压漏孔下限的系统，包括气源(1)、微调阀(2)、第一真空阀门(3)、第二真空阀门(4)、第三真空阀门(8)、第四真空阀门(10)、第五真空阀门(11)、差压规(5)、真空规(6)、消气剂泵(7)、容积(9)、抽气泵(12)、正压漏孔(13)和恒温箱(14)； 微调阀(2)的一端与气源(1)连接，微调阀(2)的另一端与第一真空阀门(3)的一端、第五真空阀门(11)的一端连接；第五真空阀门(11)的另一端与抽气泵(12)连接；第一真空阀门(3)的另一端与第二真空阀门(4)的一端、差压规(5)的一端连接；第二真空阀门(4)的另一端与差压规(5)的另一端、真空规(6)、容积(9)的一端连接；容积(9)的另一端与第三真空阀门(8)的一端、第四真空阀门(10)的一端连接；第三真空阀门(8)的另一端与消气剂泵(7)连接；第四真空阀门(10)的另一端与正压漏孔(13)连接；第一真空阀门(3)、第二真空阀门(4)、第四真空阀门(10)、容积(9)和正压漏孔(13)安装在恒温箱(14)中； 上述各部件通过管路连接； 其特征在于具体步骤为： 1)将被校准正压漏孔(13)安装在第四真空阀门(10)上，并检查密封性； 2)启动恒温箱(14)，然后打开抽气泵(12)，然后依次打开第一真空阀门(3)、第二真空阀门(4)、第四真空阀门(10)、第五真空阀门(11)对容积(9)和阀门管道抽气，最后打开差压规(5)和真空规(6)，并保持环境温度为23±3℃； 3)当差压规(5)和真空规(6)稳定工作后，并在容积(9)及管道中压力小于1×10-3Pa后对差压规(5)和真空规(6)进行调零； 4)关闭第五真空阀门(11)，通过微调阀(2)向容积(9)中注入压力为P1的氮气，然后关闭第四真空阀门(10)，接下来再打开第五真空阀门(11)将容积(9)及管道中的气体抽走，然后关闭第一真空阀门(3)，打开第四真空阀门(10)将密封在第四真空阀门(10)与正压漏孔(13)出口间的气体膨胀； 正压漏孔(13)接头体积为Vj，容积(9)是第一真空阀门(3)、第三真空阀门(8)、第四真空阀门(10)间的体积V0，膨胀后的压力为P2，可计算得到正压漏孔(13)接头体积Vj＝V0*P2/(P1-P2)； 5)关闭第五真空阀门(11)，打开第一真空阀门(3)，通过微调阀(2)向容积(9)中注入100kPa惰性气体He，然后关闭第一真空阀门(3)和第二真空阀门(4)，打开第三真空阀门(8)，让消气剂泵(7)抽出容积(9)及管道中释放出的活性气体，以避免放气对测量结果的影响；打开第四真空阀门(10)的同时记录开始时间t1和差压规(5)的初始压力Ps，过一段时间后在时间t2时差压规(5)的压力为P，第二真空阀门(4)、第三真空阀门(8)和第四真空阀门(10)之间的容积为V，则被校准正压漏孔(13)的漏率Q为Q＝(P-Ps)*(Vj+V)/(t2-t1)； 6)关闭所有第一真空阀门(3)、第二真空阀门(4)、第三真空阀门(8)、第四真空阀门(10)、第五真空阀门(11)、差压规(5)、真空规(6)、抽气泵(12)和恒温箱(14)，最后拆卸被校准的正压漏孔(13)。 【当前权利人】江苏东方航天校准检测有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州工业园区展业路18号中新生态科技城D栋2F 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股的法人独资) 【统一社会信用代码】91320594552536794B 【引证次数】6.0 【他引次数】6.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】9

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