【摘要】本发明公开了一种晶圆级真空封装的IR FPA器件及其制造方法,采用2片晶圆键合的方式来实现红外探测器的制作及实现其晶圆级封装,把CMOSIC与MEMS器件分开制作,既实现与CMOSIC的集成,又增加MEMS红外探测器器件制作的灵活性
【摘要】 一种用于井式炉口的密封装置,包括:炉盖冷却腔、炉盖密封环、马弗导向槽、密封圈、马弗冷却腔、炉盖与马弗炉体,所述炉盖冷却腔固定于炉盖顶面;所述炉盖密封环固定于炉盖底面边缘;所述马弗冷却腔固定于马弗炉体顶端外侧;所述马弗导向槽固定于马弗冷却腔顶面;所述密封圈固定于炉盖密封环与马弗密封槽之间。本发明提供一种用于井式炉口的密封装置,利用炉盖密封环的斜面压力及马弗导向槽的定位作用使密封圈挤压变形,增强了密封效果,通过密封圈变形后的形状对炉体与炉盖之间进行充分密封。解决了原来平面密封的接触面小、密封面易污染、密封不精确等运行问题,有效提高了设备密封的可靠性及安全性。 【专利类型】发明申请 【申请人】天龙科技炉业(无锡)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214105 江苏省无锡市锡山经济开发区东部园区(安镇)东盛路2001号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】锡山区 【申请号】CN201210411712.3 【申请日】2012-10-23 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103776259A 【公开公告日】2014-05-07 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103776259B 【授权公告日】2017-08-01 【授权公告年份】2017.0 【IPC分类号】F27B1/10; F16J15/10 【发明人】唐翠; 毛润辉; 方华; 浦晓东; 宗国良; 华科 【主权项内容】一种用于井式炉口的密封装置,包括:炉盖冷却腔、炉盖密封环、马弗导向槽、密封圈、马弗冷却腔、炉盖与马弗炉体,其特征在于:所述炉盖冷却腔固定于炉盖顶面;所述炉盖密封环固定于炉盖底面边缘;所述马弗冷却腔固定于马弗炉体顶端外侧;所述马弗密封槽固定于马弗冷却腔顶面;所述密封圈固定于炉盖密封环与马弗密封槽之间。 微信 【当前权利人】天龙科技炉业(无锡)有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市锡山经济开发区东部园区(安镇)东盛路2001号 【专利权人类型】港、澳、台 【统一社会信用代码】91320205763575902H 【被引证次数】3 【被自引次数】1.0 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】3
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