【摘要】 一种沉积碲化镉薄膜设备及其沉积碲化镉薄膜的方法，其中的喷涂装置包括进气进料管、扩散加热管和外套管；所述外套管内套设所述扩散加热管，所述扩散加热管之内再套设所述进气进料管；所述进气进料管沿长度方向开设有两排进气进料孔，所述两排进气进料孔以所述进气进料管的轴心线对称布置；所述扩散加热管沿长度方向开设有两条扩散狭缝，且所述两条扩散狭缝不朝向所述两排进气进料孔，所述两条扩散狭缝以所述扩散加热管的轴心线对称布置；所述外套管沿长度方向开设有两条喷涂狭缝，且所述两条喷涂狭缝不朝向所述两条扩散狭缝，所述两条喷涂狭缝以外套管的轴心对称布置。本发明可以同时对两块衬底沉积碲化镉薄膜，因此可以大幅度提高生产效率。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡尚德太阳能电力有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市新区长江南路17-6号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210354975.5 【申请日】2012-09-17 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103668078A 【公开公告日】2014-03-26 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】C23C14/24; H01L31/18 【发明人】蒋猛; 牛学鹏; 刘志强 【主权项内容】一种喷涂装置，用于在衬底上形成薄膜层，其特征在于，所述喷涂装置包括进气进料管、扩散加热管和外套管；所述外套管内套设所述扩散加热管，所述扩散加热管之内再套设所述进气进料管；所述进气进料管沿长度方向开设有两排进气进料孔，所述两排进气进料孔以所述进气进料管的轴心线对称布置；所述扩散加热管沿长度方向开设有两条扩散狭缝，且所述两条扩散狭缝不朝向所述两排进气进料孔，所述两条扩散狭缝以所述扩散加热管的轴心线对称布置；所述外套管沿长度方向开设有两条喷涂狭缝，且所述两条喷涂狭缝不朝向所述两条扩散狭缝，所述两条喷涂狭缝以外套管的轴心对称布置。 【当前权利人】无锡尚德太阳能电力有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市新区长江南路17-6号 【专利权人类型】有限责任公司(非自然人投资或控股的法人独资) 【统一社会信用代码】9132021372655423XN 【引证次数】2.0 【被引证次数】1 【他引次数】2.0 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】2.0 【家族被引证次数】1

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