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聚合物材料及其应用专利

时间:2026-09-25    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明提供了一种聚合物材料,该聚合物材料包含有SU8和表面活性剂。SU8为疏水性材料,因此在键合的时候需要先加热至130度以上使其回流,配合一定的压强,使两个硅片(玻璃片)完成键合。通过在SU8内添加少量的表面活性剂,将SU8改为亲水性的材料,这样SU8的表面粘性就非常好,通过光刻固化使得SU8在高温下仍然有很小量的回流,配合一定的压强,即可完成键合,而且键合压强低。本发明还公开了所述聚合物材料在键合中的应用。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡华润上华半导体有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210346914.4 【申请日】2012-09-18 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103676481A 【公开公告日】2014-03-26 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】G03F7/038; B81C3/00 【发明人】苏佳乐 【主权项内容】 一种聚合物材料,其特征在于:所述聚合物材料包含有SU8和表面活性剂。 【当前权利人】无锡华润上华半导体有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 【专利权人类型】有限责任公司(外商合资) 【统一社会信用代码】91320214714903842J 【引证次数】2.0 【被引证次数】1 【他引次数】2.0 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】2.0 【家族被引证次数】1

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