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快速热退火方法专利

时间:2026-09-25    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明公开一种快速热退火方法,用于对晶圆进行快速热退火处理,包括如下步骤:采用晶圆静止型热退火机台对监控晶圆进行初步热退火处理;采用晶圆转动型热退火机台对进行所述初步热退火处理后的监控晶圆进行完全热退火处理。该方法既保证了加热的均匀性,又避免了监控晶圆引起晶圆转动型热退火机台报警。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡华润上华科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210212947.X 【申请日】2012-06-26 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103515192A 【公开公告日】2014-01-15 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】H01L21/02; H01L21/324; C30B33/02 【发明人】王曼; 崔国东; 苏小鹏 【主权项内容】一种快速热退火方法,用于对晶圆进行快速热退火处理,其特征在于,包括如下步骤:采用晶圆静止型热退火机台对监控晶圆进行初步热退火处理;采用晶圆转动型热退火机台对进行所述初步热退火处理后的监控晶圆进行完全热退火处理。 【当前权利人】无锡华润上华科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【专利权人类型】有限责任公司(港澳台法人独资) 【统一社会信用代码】91320214739444443B 【引证次数】5.0 【他引次数】5.0 【家族引证次数】5.0

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