【摘要】本发明涉及一种带凹槽的防辐射、抗菌防滑桌布，包括桌布本体(1)，所述桌布本体(1)朝着桌面的一侧设有凸出桌布本体(1)的条状针织物(2)，该条状针织物(2)与桌布本体(1)间形成防滑凹槽(3)，所述桌布本体(1)由织物制成，所述织物
【摘要】 一种多层金属图形化工艺中的湿法腐蚀方法，利用冰乙酸(CH3COOH)、硝酸(HNO3)和水的混合液对Ag和Ni进行腐蚀，利用稀氢氟酸对Ti进行腐蚀，利用Al腐蚀液对Al进行腐蚀，最后利用APM溶液对TiN和Ti进行腐蚀。本发明只需要一次光刻，大大降低了成本，由于所有湿法腐蚀的步骤中对腐蚀窗口的形貌控制的比较好，因此提高了图形化工艺的品质，将Ag、Ni、Al以及TiN和Ti分别在一个步骤中腐蚀，节省了湿法腐蚀工艺的流程，提高可工艺的效率。。： 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡华润上华半导体有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210352843.9 【申请日】2012-09-20 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103681277A 【公开公告日】2014-03-26 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103681277B 【授权公告日】2016-08-03 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】H01L21/28 【发明人】韩文胜; 缪新海; 臧延亮 【主权项内容】一种多层金属结构的湿法腐蚀方法，所述多层金属结构从衬底方向依次包括钛、氮化钛、铝、钛、镍、银，其特征在于，该湿法腐蚀方法包括步骤：以冰乙酸、硝酸和水的混合液对银/镍进行同步腐蚀；以氢氟酸对钛进行腐蚀；以铝腐蚀液腐蚀铝层；以APM腐蚀液同步腐蚀氮化钛/钛层。 【当前权利人】无锡华润上华科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【专利权人类型】有限责任公司(外商合资) 【统一社会信用代码】91320214714903842J 【引证次数】3.0 【被引证次数】14 【他引次数】3.0 【被自引次数】1.0 【被他引次数】13.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】15
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