【摘要】本发明公开了一种精粗结合轻薄弹力呢及生产工艺，该弹力呢为平纹布料，平纹布料中的经向纱采用422的半精纺纱，平纹布料中的纬向纱采用201的粗纺纱与161的氨纶包芯纱，其中粗纺纱与氨纶包芯纱的纱线排列按1 : 1排列；其生产工艺步骤包括
【摘要】 本发明揭示了一种LPCVD沉积多晶硅的方法，通过在沉积之前分阶段升温，以及在沉积之后分阶段降温，从而使管壁上的沉积颗粒物在温度变化过程中能够脱落，然后利用同步的氮气吹洗，保证这些颗粒物不会对晶圆表面造成污染，不仅增加了多晶硅薄膜的沉积品质，同时由于减少内管在单次沉积过程中累计的沉积颗粒物，增加了内管的检修周期，从而提升了生产效率。 ： 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡华润上华科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210245113.9 【申请日】2012-07-13 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103540909A 【公开公告日】2014-01-29 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103540909B 【授权公告日】2016-05-11 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】C23C16/44; C23C16/24; C30B28/14; C30B29/06 【发明人】权昊 【主权项内容】一种LPCVD沉积多晶硅的方法，其特征在于：包括待机阶段、晶舟装载阶段、抽真空阶段、检漏阶段、内管清洗阶段、模拟沉积阶段、沉积阶段、后清除阶段、返压阶段以及晶舟卸载阶段，其中所述抽真空阶段和所述内管清洗阶段中具有升温步骤，该升温步骤将内管内的温度从待机温度升温到沉积温度，所述后清除阶段中具有降温步骤，该降温步骤将内管内温度从沉积温度降到待机温度。 ： 【当前权利人】无锡华润上华科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【专利权人类型】有限责任公司(港澳台法人独资) 【统一社会信用代码】91320214739444443B 【引证次数】2.0 【被引证次数】10 【他引次数】2.0 【被他引次数】10.0 【家族引证次数】2.0 【家族被引证次数】10
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