【摘要】一种半导体芯片的加工方法。涉及一种无机械损伤的裂解工艺。提供了一种能高效、无机械损伤,且为后续加工提供友好衔接措施的半导体芯片的加工方法。包括以下步骤:对晶片进行扩散、设置氧化层和在氧化层上光刻窗口的工序;光刻窗口后,所述氧化层在晶
【摘要】 本发明属于耐火材料领域,公开了一种铝-尖晶石-镁砂复合耐火材料及其制备方法和应用。一种铝-尖晶石-镁砂复合耐火材料,包含原料和外加的无机结合剂;其中所述的原料中各组分的用量为:镁砂60~94%,富镁尖晶石或镁铝尖晶石5~30%,金属铝粉1~15%;无机结合剂的用量为原料总质量的1~5%。本发明开发的铝-尖晶石-镁砂质复合耐火材料主要用于替代RH精炼炉内镁铬砖。本发明耐火材料在制备时只需低温热处理,减少了在制造过程中大量能源的消耗,减少环境的污染;在使用过程中,加入的铝粉部分氧化后与渣中的氧化钙形成CA2保护层提高抗渣渗透性能。 微信 【专利类型】发明授权 【申请人】江苏诺明高温材料股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214267 江苏省宜兴市新庄街道工业集中区 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】宜兴市 【申请号】CN201210104103.3 【申请日】2012-04-09 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102633511B 【公开公告日】2014-07-02 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102633511B 【授权公告日】2014-07-02 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】C04B35/66; C04B35/043; C04B35/622 【发明人】马国栋; 钱志明; 黄京衡; 高原; 马礼涛; 洪珊珊; 李进宝; 王丽君 【主权项内容】1.一种铝-尖晶石-镁砂复合耐火材料,其特征在于包含原料和外加的无机结合剂;其中所述的原料中各组分的用量为:镁砂75wt%,富镁尖晶石15wt %,金属铝粉10 wt %;六偏磷酸钠的用量为原料总质量的3wt%;按照配比称量所需原料,先将粒度>0.088mm的原料50 r/min搅拌5min,加入一半无机结合剂50 r/min搅拌5min,将各种粒度≤0.088mm的原料细粉50 r/min搅拌5min,加入剩余的无机结合剂继续50 r/min搅拌10min,停止搅拌将搅拌好的混合料充分困料,然后将困好的混合料在压力机上以150MPa压力压制成为标准尺寸砖,最后将成型的耐火材料在300℃~600℃之间进行热处理即得。 【当前权利人】江苏诺明高温材料股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市宜兴市新庄街道工业集中区 【专利权人类型】股份有限公司 【统一社会信用代码】91320200718685221F 【被引证次数】1 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】11
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